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硅壓阻壓力傳感器優(yōu)化設(shè)計(jì)
摘 要 ：采用硅壓阻敏感芯體制作的傳感器具有較高的精度和較好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，被廣泛運(yùn)用于壓力傳感器中。但普通的硅壓阻敏感芯體在測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)儀器艙內(nèi)氣體壓力和頭罩部位氣體壓力時(shí)，出現(xiàn)了信號(hào)跳變的異?，F(xiàn)象。通過對(duì)硅壓阻敏感芯體工作原理進(jìn)行分析，以及對(duì)敏感芯體充油工藝的分析，發(fā)現(xiàn)普通敏感芯體信號(hào)跳變是由于芯體在振動(dòng)和低氣壓復(fù)合環(huán)境下內(nèi)部硅油出現(xiàn)了空化現(xiàn)象。可選擇采用高真空的硅壓阻敏感芯體來杜絕芯體內(nèi)部硅油空化現(xiàn)象的發(fā)生，試驗(yàn)證明，該方法可有效解決信號(hào)跳變這一問題。
