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準(zhǔn)分子

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準(zhǔn)分子光刻技術(shù)與極紫外光刻技術(shù)

光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進行開孔，以便進行雜質(zhì)的定域擴散的一種加工技術(shù)。

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2021-12-01

準(zhǔn)分子極紫外光刻光抗蝕劑

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