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準(zhǔn)分子

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準(zhǔn)分子光刻技術(shù)與極紫外光刻技術(shù)

光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個(gè)主要工藝。是對(duì)半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開(kāi)孔，以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。

基礎(chǔ)知識(shí)科普站
2021-12-01

準(zhǔn)分子極紫外光刻光抗蝕劑

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