化學(xué)氣相沉積裝置最主要的元件就是反應(yīng)器。
摘 要:對于化工生產(chǎn)過程中的放熱反應(yīng)來說,其反應(yīng)器溫度控制系統(tǒng)不僅具有強耦合、非線性等特點,同時還具有熱危險性,傳統(tǒng)的PID控制策略往往不能滿足其穩(wěn)定性要求。文章通過建立RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型,提出了一種基于徑向基神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)RBF-PID的反應(yīng)器溫度控制策略,同時結(jié)合高級多功能過程控制實驗系統(tǒng)SMPT1000平臺進行仿真驗證。仿真結(jié)果表明 基于RBF-PID控制策略的反應(yīng)器溫度控制系統(tǒng)具有超調(diào)量小、動態(tài)性能好等特點,可實現(xiàn)反應(yīng)器溫度的穩(wěn)定控制