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ALD中射頻阻抗匹配器的設(shè)計(jì)與研究
摘要：闡述原子層沉積系統(tǒng)(ALD)中射頻阻抗匹配器的設(shè)計(jì)方案。利用ADS軟件對(duì)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行仿真，通過(guò)分析ALD真空腔室內(nèi)等離子體產(chǎn)生前后的負(fù)載阻抗變化，結(jié)合仿真結(jié)果，提出等離子體產(chǎn)生過(guò)程中阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的控制方
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