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常數(shù)

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低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用

趙智彪，許志，利定東（應(yīng)用材料中國(guó)公司，上海浦東張江高科技園區(qū)張江路368號(hào)，201203）摘要：本文概述了低介電常數(shù)材料（Low k Materials）的特點(diǎn)、分類(lèi)及其在集成電路工藝中的應(yīng)用。指出了應(yīng)用低介電常數(shù)材料的必

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