近日,中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)(以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)科大”)網(wǎng)站對(duì)外發(fā)布,中國(guó)科大在6G濾波器領(lǐng)域取得重要進(jìn)展。該研究成果由微電子學(xué)院左成杰教授研究團(tuán)隊(duì)在鈮酸鋰(LiNbO3)壓電薄膜上設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了Q值超過100000的高頻(6.5 GHz)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)諧振器,與文獻(xiàn)中現(xiàn)有的工作相比,把Q值提升了2個(gè)數(shù)量級(jí)。