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MEMS技術(shù)基礎(chǔ)有哪些?再談MEMS封裝技術(shù)
為增進大家對MEMS的認識程度，本文同樣基于兩點介紹MEMS技術(shù)：1.MEMS封裝技術(shù)，2.MEMS技術(shù)的基礎(chǔ)。
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非均勻采樣的理論基礎(chǔ)
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內(nèi)徑測量原理及理論基礎(chǔ)
對內(nèi)徑尺寸的測量，國內(nèi)目前測量的方法多以接觸式測量為主。但接觸式測量由于測量工具磨損、人為因素等原因造成測量誤差較大，不能滿足快速、精確的內(nèi)徑尺寸檢測要求。本文采用光三角測量原理，結(jié)合半導
