電子束量測

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應(yīng)用材料公司推出革命性的針對FinFET晶體管和3D NAND器件的電子束量測設(shè)備

21ic訊全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體、平板顯示和太陽能光伏行業(yè)精密材料工程解決方案供應(yīng)商應(yīng)用材料公司，在加利福尼亞州圣何塞舉行的國際光學(xué)工程學(xué)會(SPIE)先進光刻技術(shù)大會上，推出了業(yè)界首款在線3D掃描電子線寬量測系統(tǒng)，成

測試測量
2015-03-02

3d finfet nand 應(yīng)用材料晶體管電子束量測