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MEMS是什么？具體有什么用？
MEMS的全稱是Micro- Electro Mechanical System，簡稱為微機電系統(tǒng)，是在芯片上將微機械與微電路包括集微型傳感器、執(zhí)行器、機械結(jié)構(gòu)、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等集成一體的微米/納米級系統(tǒng)。通俗的說，MEMS工藝是通過微型傳統(tǒng)機械系統(tǒng)的部件，采用半導體加工技術(shù)把微型機械系統(tǒng)與集成電路固定在硅晶圓上，接著按照應用場景的變化采用特殊定制的封裝形式，最后經(jīng)過切割組裝形成硅基換能器。
