缺陷檢測系統(tǒng)

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KLA-Tencor發(fā)布VoyagerTM 1015和Surfscan® SP7缺陷檢測系統(tǒng)：解決工藝和設備監(jiān)控中的兩個關鍵挑戰(zhàn)

日前，KLA-Tencor公司宣布推出兩款全新缺陷檢測產(chǎn)品，在硅晶圓和芯片制造領域中針對先進技術節(jié)點的邏輯和內(nèi)存元件，為設備和工藝監(jiān)控解決兩項關鍵挑戰(zhàn)。

測試測量
2018-07-12

kla-tencor 晶圓缺陷檢測系統(tǒng) 光刻系統(tǒng)