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限制出口

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技術奇跡！EUV光刻機被美國限制出口的真相

EUV光刻機是一項技術奇跡。一臺發(fā)生器每秒噴射出5萬個微小的熔錫液滴，高功率激光對每個液滴進行兩次爆破，第一次可以使錫成形，第二次是使錫蒸發(fā)成等離子體。等離子體發(fā)出極紫外光輻射，這種輻射聚集成光束

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2020-07-21

euv 光刻機極紫外美國限制出口

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