壓力傳感器(PressureTransducer)是能感受壓力信號,并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型,壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術和半導體集成電路制造加工技術,以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導體材料制作而成的芯片作為主要組成部分,將壓強信號轉化為電學信號的壓力測量器件。MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設計技術和制造工藝,進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單易用和智能化。
MEMS,也即微電子機械系統(tǒng),是現(xiàn)代常用器件之一。對于MEMS,小編在前兩篇文章中有所闡述。為增進大家對MEMS的認識,本文將基于兩點介紹MEMS:1.什么是MEMS,2.MEMS壓力傳感器介紹。
意法半導體的 LPS33W防水型MEMS壓力傳感器集化學兼容性、穩(wěn)定性和精確性于一身,適合健身追蹤器、可穿戴設備、真空吸塵器和通用工業(yè)感測等各種應用領域。
意法半導體LPS22HH MEMS壓電絕對壓力傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設備制造商在焊接后無需執(zhí)行單點校準(OPC)工序,從而提高產(chǎn)量和效率。