壓力傳感器(PressureTransducer)是能感受壓力信號(hào),并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成。按不同的測(cè)試壓力類(lèi)型,壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路制造加工技術(shù),以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料制作而成的芯片作為主要組成部分,將壓強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)的壓力測(cè)量器件。MEMS壓力傳感器可以用類(lèi)似集成電路(IC)設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝,進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過(guò)程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開(kāi)方便之門(mén),使壓力控制變得簡(jiǎn)單易用和智能化。
MEMS,也即微電子機(jī)械系統(tǒng),是現(xiàn)代常用器件之一。對(duì)于MEMS,小編在前兩篇文章中有所闡述。為增進(jìn)大家對(duì)MEMS的認(rèn)識(shí),本文將基于兩點(diǎn)介紹MEMS:1.什么是MEMS,2.MEMS壓力傳感器介紹。
意法半導(dǎo)體的 LPS33W防水型MEMS壓力傳感器集化學(xué)兼容性、穩(wěn)定性和精確性于一身,適合健身追蹤器、可穿戴設(shè)備、真空吸塵器和通用工業(yè)感測(cè)等各種應(yīng)用領(lǐng)域。
意法半導(dǎo)體LPS22HH MEMS壓電絕對(duì)壓力傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設(shè)備制造商在焊接后無(wú)需執(zhí)行單點(diǎn)校準(zhǔn)(OPC)工序,從而提高產(chǎn)量和效率。