全球半導體微影技術領導廠商艾司摩爾(ASML)20日宣布,在臺積電、英特爾及三星三大晶圓廠力挺下,最先進的極紫外光(EUV)已連續(xù)四周平均妥善率逾八成,本季底前將完成三臺最新的EUV系統(tǒng)出貨。 EUV堪稱半導體設備發(fā)展以
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