突發(fā)!國(guó)內(nèi)一晶圓廠(chǎng)發(fā)生爆炸事故
據(jù)國(guó)內(nèi)媒體報(bào)道,1月7日中午,華虹三廠(chǎng)發(fā)生電站爆炸事故,導(dǎo)致該工廠(chǎng)停工3個(gè)小時(shí)。
不過(guò),當(dāng)天晚間,該工廠(chǎng)配電站設(shè)備已經(jīng)完成搶修,并且順利復(fù)工。
(相關(guān)爆料截圖)
截至目前,華虹方面尚未對(duì)此進(jìn)行正式回應(yīng)。
但是,有業(yè)內(nèi)人士透露,此次事故是由于華虹三廠(chǎng)配電站變壓器短路導(dǎo)致的爆炸,由于華虹三廠(chǎng)與華虹五廠(chǎng)是共用配電站,所以此次事故也使華虹五廠(chǎng)受到了斷電影響。
(圖片來(lái)源:新浪微博)
據(jù)了解,一般晶圓廠(chǎng)都會(huì)配有UPS備用電源以及柴油發(fā)電機(jī),即便突發(fā)斷電,UPS通常也能支撐十多分鐘,而這段時(shí)間應(yīng)該足夠啟用備用發(fā)電機(jī)進(jìn)行供電。
但上述業(yè)內(nèi)人士稱(chēng),“華虹三廠(chǎng)的機(jī)臺(tái)全都出現(xiàn)了停機(jī),而華虹五廠(chǎng)的光刻機(jī)的UPS也沒(méi)有抗住,目前華虹五廠(chǎng)與華虹三廠(chǎng)尚未完成復(fù)機(jī)。”
(圖片來(lái)源:華虹集團(tuán)官網(wǎng))
根據(jù)公開(kāi)資料顯示,華虹三廠(chǎng)位于上海張江基地,是上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司運(yùn)營(yíng)的一座8英寸晶圓廠(chǎng),其最先進(jìn)工藝為90nm。華虹三廠(chǎng)于2000年啟動(dòng)建設(shè)、2003年建成投產(chǎn),其在2020年財(cái)報(bào)中公布的8英寸晶圓月產(chǎn)能為5.3萬(wàn)片。
另外,華虹五廠(chǎng)也位于上海張江基地,是中國(guó)大陸第一條全自動(dòng)化智能派工生產(chǎn)線(xiàn),也是華虹集團(tuán)第一條12英寸半導(dǎo)體代工生產(chǎn)線(xiàn),其工藝節(jié)點(diǎn)為55nm至28nm,目前月產(chǎn)能約為4.5萬(wàn)片。
由于目前全球芯片產(chǎn)能持續(xù)緊張,8英寸產(chǎn)能尤為稀缺,因此有網(wǎng)友猜測(cè),此次爆炸或與華虹三廠(chǎng)滿(mǎn)負(fù)荷運(yùn)營(yíng)有關(guān)。該工廠(chǎng)停工3個(gè)小時(shí),或在一定程度上導(dǎo)致訂單交期延遲,同時(shí)還可能造成大批量晶圓報(bào)廢。