美國Advanced Energy公司宣布為等離子體的工業(yè)化應用提供Alta數(shù)字化控制的射頻電源能量傳輸平臺

丹佛，Colo.，2022年5月10日 ——美國Advanced Energy公司(納斯達克：AEIS)——高度工程化的精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者——今天宣布推出一款綜合的射頻電源傳輸解決方案，該方案結合了先進的數(shù)字控制電源和精確的數(shù)字阻抗匹配網(wǎng)絡。針對薄膜工業(yè)應用設計的ALTA?平臺具有超強適應能力及控制精確性和重復性,增強了工藝穩(wěn)定性并提供最佳產(chǎn)能。

ALTA平臺包含了13.56MHz的機架式電源，功率范圍1.5KW至6KW，以及一個13.56MHz的抽頭數(shù)字式匹配網(wǎng)絡。該系列產(chǎn)品面向不同行業(yè)等離子體工藝對精度，可靠性和重復性上的要求進行了優(yōu)化。這些行業(yè)包括太陽能電池面板，平板顯示起，精密光學器件和汽車玻璃制造。

“隨著薄膜制造技術的發(fā)展和等離子快速轉換成為常態(tài)，對結合精確的射頻控制和對等離子快速轉換的動態(tài)響應的電源解決方案的需求越來越大，”美國Advanced Energy公司等離子電源產(chǎn)品高級市場營銷總監(jiān)Dhaval Dhayatkar表示?！癆LTA電源提供了幾個先進的功能，包括頻率調整、功率和阻抗實時測量、嚴密的功率調節(jié)、電弧管理和相位同步?！?

ALTA電源還能進行全數(shù)字控制和對快速等離子體變化的動態(tài)響應，確保穩(wěn)健、可靠的功率傳輸。ALTA匹配網(wǎng)絡提供了調諧的多樣性，其多接頭線圈系統(tǒng)可輕松進行調諧，以適應不同阻抗范圍。重復響應能力可最大程度減少每個匹配器之間以及重復工藝之間產(chǎn)生造成的功率偏差。

ALTA平臺通過利用先進的數(shù)字架構，能夠實現(xiàn)極其精確的過程測量和控制，以及與最先進的通信接口(如EtherCAT和Profinet)的系統(tǒng)無縫集成。