多氟多進(jìn)入臺(tái)積電供應(yīng)鏈,國產(chǎn)氫氟酸進(jìn)入國際一流水平

近日，國產(chǎn)高純電子化學(xué)品材料龍頭廠商多氟多新材料股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“多氟多”)發(fā)布公告，公司在經(jīng)過臺(tái)積電(南京)有限公司南京工廠(以下簡(jiǎn)稱“臺(tái)積電南京廠”)現(xiàn)場(chǎng)審核和多輪上線測(cè)試后，目前正式進(jìn)入臺(tái)積電合格供應(yīng)商體系，并于近期開始向臺(tái)積電南京廠批量交付高純電子化學(xué)品材料。

據(jù)了解，此次多氟多打入臺(tái)積電供應(yīng)鏈的材料為高純電子級(jí)氫氟酸。

什么是電子級(jí)氫氟酸?

高純電子化學(xué)品又稱濕電子化學(xué)品，品種類繁多，比如氫氟酸、光刻膠、氟化聚酰胺等，應(yīng)用廣泛，是微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種電子化工材料。

超凈高純?cè)噭┮话阋髩m埃顆粒粒徑控制在 0.5?m 以下，雜質(zhì)含量低于ppm 級(jí)(10-6 為 ppm，10-9 為 ppb，是 10-12為 ppt)的化學(xué)試劑，是化學(xué)試劑中對(duì)顆粒粒徑控制、雜質(zhì)含量要求最高的試劑。

目前廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體、太陽能硅片、LED 和平板顯示等電子元器件的清洗和蝕刻等工藝環(huán)節(jié)。

電子級(jí)氫氟酸是高純電子化學(xué)品當(dāng)中的一種，主要用于去除氧化物，在半導(dǎo)體、太陽能光伏板和液晶顯示器制造過程當(dāng)中被大量使用。其中，半導(dǎo)體制造是電子級(jí)氫氟酸的最大應(yīng)用市場(chǎng)，約占?xì)浞峥傁牧?7.3%。

在半導(dǎo)體制造過程中，電子級(jí)氫氟酸主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。

資料顯示，在半導(dǎo)體制程中，有50多個(gè)環(huán)節(jié)需要使用高純度電子氟化氫，足見其重要性。不過，相對(duì)于其他領(lǐng)域的應(yīng)用來說，半導(dǎo)體制造對(duì)于電子級(jí)氫氟酸的品質(zhì)和純度要求也更高。

國產(chǎn)電子級(jí)氫氟酸已進(jìn)入國際一流水平

據(jù)多氟多董事長李世江介紹說，多氟多在超凈高純電子化學(xué)品的研發(fā)生產(chǎn)過程中，突破了工藝技術(shù)、分析檢測(cè)技術(shù)、超凈化處理技術(shù)、包裝容器的清洗技術(shù)及標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，所生產(chǎn)的電子級(jí)氫氟酸品質(zhì)達(dá)到UP-SSS級(jí)(G5級(jí)別)，產(chǎn)品純度達(dá)到PPT級(jí)，是目前半導(dǎo)體用電子級(jí)氫氟酸的最高級(jí)別，能夠滿足目前最先進(jìn)工藝制程對(duì)材料的要求，處于國際一流水平。

而根據(jù)國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織(SEMI)成立的 SEMI 化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)，對(duì)世界濕電子化學(xué)品的等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)劃分來看，主要?jiǎng)澐譃?SEMI G1 至 SEMI G5級(jí)。

在各應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)有所不同，光伏一般只需要 G1 級(jí)水平;顯示面板和 LED 對(duì)濕電子化學(xué)品的等級(jí)要求一般為 G2、G3 水平;半導(dǎo)體制造對(duì)濕電子化學(xué)品的純度要求較高，基本集中在 G3以上水平，晶圓尺寸越大對(duì)純度要求越高，12 英寸晶圓制造一般要求 G4 以上，即G5級(jí);分立器件對(duì)濕電子化學(xué)品純度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2級(jí)。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)廠家有11家左右，但是能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G4級(jí)及以上的企業(yè)僅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、濱化股份、興發(fā)集團(tuán)四家左右。而能夠供應(yīng)12英寸晶圓使用需求的超凈高純電子級(jí)氫氟酸，即G5級(jí)別(UP-SSS)電子級(jí)氫氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。

鑒于全球晶圓代工龍頭臺(tái)積電對(duì)于材料的嚴(yán)格要求，此次多氟多成功打入臺(tái)積電南京12英寸晶圓廠(主要生產(chǎn)16/12nm制程芯片)的G5級(jí)電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品已達(dá)到了國際一流水平。