奮起直追 推動(dòng)高能離子注入機(jī)自立自強(qiáng)

電子強(qiáng)軍，科技報(bào)國。中國電科深入學(xué)習(xí)貫徹習(xí)近平總書記重要講話精神和重要指示批示精神，秉承軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)國家隊(duì)、國家戰(zhàn)略科技力量的使命責(zé)任，堅(jiān)決履行強(qiáng)軍首責(zé)，聚力推動(dòng)改革創(chuàng)新，用一型型“大國重器”服務(wù)武器裝備現(xiàn)代化和高水平科技自立自強(qiáng)。為展現(xiàn)電科人為強(qiáng)國強(qiáng)軍事業(yè)的不懈追求，特開設(shè)“中國電科與大國重器”專欄報(bào)道，今日推出報(bào)道“奮起直追 推動(dòng)高能離子注入機(jī)自立自強(qiáng)”。

“成功了!成功了!”

仲夏深夜，在北京東南方的中國電科所屬北京爍科中科信設(shè)備研發(fā)中心，傳來一聲聲激動(dòng)的吶喊聲，困擾研發(fā)團(tuán)隊(duì)已久的高能離子注入機(jī)核心技術(shù)難關(guān)得到突破!幾日后，好消息傳來，由該團(tuán)隊(duì)自主研制的國內(nèi)首臺高能離子注入機(jī)順利進(jìn)駐國內(nèi)先進(jìn)集成電路大生產(chǎn)線。

高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

習(xí)近平總書記指出，突破“卡脖子”關(guān)鍵核心技術(shù)必須堅(jiān)持問題導(dǎo)向，發(fā)揮新型舉國體制優(yōu)勢，踔厲奮發(fā)、奮起直追，加快實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)。

中國電科貫徹落實(shí)習(xí)近平總書記重要指示批示精神，發(fā)揮集團(tuán)公司國家戰(zhàn)略科技力量重要作用，下定決心、保持恒心、找準(zhǔn)重心，加快補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈短板弱項(xiàng)，提升關(guān)鍵核心技術(shù)掌控力。

作為集成電路芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入機(jī)設(shè)備的研制難度極大、研制基礎(chǔ)薄弱?！皼Q不能讓芯片制造斷鏈短鏈!”懷揣裝備報(bào)國的理想，研發(fā)團(tuán)隊(duì)正式向關(guān)鍵裝備研制發(fā)起了挑戰(zhàn)，經(jīng)過艱苦努力，在成千上萬遍實(shí)驗(yàn)

模擬后，實(shí)現(xiàn)了中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，大幅縮小了與國際一流水平差距。

聚焦全產(chǎn)業(yè)鏈，高端裝備產(chǎn)業(yè)化也已然邁出新步伐。中國電科董事長、黨組書記陳肇雄強(qiáng)調(diào)，要充分發(fā)揮電子信息領(lǐng)域完整產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，統(tǒng)籌戰(zhàn)略需求，保持恒心定力，補(bǔ)齊短板弱項(xiàng)，強(qiáng)化“非對稱”趕超戰(zhàn)略思維，以長補(bǔ)短、換道超車，堅(jiān)決打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)。

堅(jiān)持推進(jìn)高水平科技自立自強(qiáng)澎湃向前。近年來，中國電科積極布局集成電路制造裝備、三代半導(dǎo)體等一批重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，成效顯著：圍繞支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的電子制造裝備領(lǐng)域、電子功能材料領(lǐng)域，中國電科已形成離子注入機(jī)、化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備(CMP)等拳頭產(chǎn)品，集成電路關(guān)鍵制造裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)?；a(chǎn)品系列化步伐明顯加快，關(guān)鍵領(lǐng)域保障能力不斷增強(qiáng)，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平;聚焦半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體應(yīng)用，中國電科連續(xù)攻克數(shù)百項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)，填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白;著力打造國產(chǎn)集成電路和三代半導(dǎo)體裝備驗(yàn)證平臺，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務(wù)核心競爭力優(yōu)勢不斷提升。

未來，中國電科將繼續(xù)瞄準(zhǔn)國家重大戰(zhàn)略需求，在關(guān)鍵核心技術(shù)上全力攻堅(jiān)，為高水平科技自立自強(qiáng)作出更大貢獻(xiàn)。