助力晶圓生產(chǎn)工藝改進，海洋光學參加2022中國半導體設(shè)備年會

2022年10月25日，中國上海——世界領(lǐng)先的光學解決方案提供商海洋光學（Ocean Insight）將參加于10月27日~29日在無錫太湖國際博覽中心召開的第十屆（2022）中國半導體設(shè)備年會暨半導體設(shè)備與核心部件展示會（CSEAC）。展位號B3-117，海洋光學攜最新改善半導體制造工藝的光譜解決方案參展?！澳坌竞狭?，發(fā)展芯設(shè)備”是這次大會的主題，產(chǎn)業(yè)升級是國家的大方向，中國半導體產(chǎn)業(yè)正在加速前進，海洋光學利用自己在光譜技術(shù)領(lǐng)域的多年積累，解決創(chuàng)新過程中遇到的問題，與產(chǎn)業(yè)伙伴合力推進創(chuàng)新發(fā)展。

光纖光譜儀因其快速、無損、原位測量的特點，在半導體行業(yè)廣受青睞。作為世界上第一臺微型光纖光譜儀的發(fā)明者，海洋光學多年來在半導體領(lǐng)域也積累了豐富的經(jīng)驗，其光學解決方案用于芯片制造的刻蝕終點監(jiān)測、透明/半透膜膜厚檢測、橢偏檢測等。

海洋光學光譜儀產(chǎn)品不斷推陳出新，為客戶提供品類多樣的、更豐富好用的工具幫助創(chuàng)新。海洋光學中國區(qū)銷售總裁孫玲博士稱：“光譜儀是一個核心器件，海洋光學就是光譜界的‘樂高’。我們把自己定義為科學儀器創(chuàng)新的奠基者，我們給客戶一個包羅萬象的工具箱，為客戶提供做出創(chuàng)新儀器的全套工具模塊，客戶用這個工具箱可以在半導體等領(lǐng)域進行自己的開發(fā)，實現(xiàn)自己的創(chuàng)新理念?！?/span>

蝕刻終點監(jiān)測：等離子體檢測系統(tǒng)

在半導體行業(yè)，晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。其中蝕刻是主要環(huán)節(jié)，當在晶圓表面蝕刻時，可使用等離子體監(jiān)測跟蹤蝕刻穿過晶圓層的程度，確定等離子體何時完全蝕刻特定層并到達下一層。通過監(jiān)測在蝕刻期間由等離子體產(chǎn)生的發(fā)射光譜，可準確追蹤蝕刻過程。這種終點檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導體材料生產(chǎn)至關(guān)重要。

等離子體監(jiān)測可以通過靈活的模塊化設(shè)置完成，基于Ocean HDX光譜儀的模塊化光譜設(shè)置用于監(jiān)測引入不同氣體和納米顆粒后氬等離子體發(fā)射光譜的變化。測量在封閉的反應(yīng)室中進行，使用光纖和余弦校正器耦合到光譜儀，通過反應(yīng)腔體中的小窗口進行觀察。測量結(jié)果表明模塊化光譜組件可實時獲取等離子體發(fā)射光譜。通過發(fā)射光譜確定的等離子體特性可用于監(jiān)測和控制基于等離子體的反應(yīng)過程。

Ocean HDX采用高清晰度光學系統(tǒng)，具有高通量和高熱穩(wěn)定性的特點，支持多種通訊模式，如USB、千兆以太網(wǎng)、Wi-Fi、AP Wi-Fi和RS-232。內(nèi)置板載緩存數(shù)據(jù)處理模塊，提高數(shù)據(jù)分析速度，保證數(shù)據(jù)完整。

▲模塊化光譜儀配置可用作QC工具或集成到生產(chǎn)線中

膜厚檢測：晶圓膜厚測量系統(tǒng)

半導體集成電路的生產(chǎn)以數(shù)十次至數(shù)百次的鍍膜、光刻、蝕刻、去膜、平坦等為主要工序，膜層的厚度、均勻性等直接影響芯片的質(zhì)量和產(chǎn)量，在加工中必須不斷地檢測以便控制膜層的厚度。光學薄膜測厚儀是半導體生產(chǎn)流程中必不可少的設(shè)備之一，用于對芯片晶圓及相關(guān)半導體材料的鍍膜厚度等進行檢測。

海洋光學膜厚測量系統(tǒng)，配置有采樣平臺、反射探頭等，基于光波的干涉現(xiàn)象，光束照射在薄膜表面，由于入射介質(zhì)、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射，反射光波相互干涉，從而形成干涉光，這些干涉光在不同相位處的強度將隨著薄膜的厚度發(fā)生變化。通過對干涉光的檢測，結(jié)合適當?shù)墓鈱W模型即可計算得到薄膜的厚度。

▲晶圓膜厚測量系統(tǒng)配置

QE Pro是一種高靈敏度性能出色的光譜儀，適合低光度應(yīng)用。QE Pro薄型背照式CCD探測器具有較高的量子效率，其穩(wěn)健的設(shè)計使其具有很高的信噪比性能和穩(wěn)定性?？赏ㄟ^選擇內(nèi)部快門，優(yōu)化對暗噪聲的測量。

解決問題是海洋光學的使命。海洋光學創(chuàng)始人Mike Morris說，“我們是問題解決者；沒有問題需要解決，就沒有海洋光學。”

孫玲博士對此深有感觸：“在一些新的應(yīng)用領(lǐng)域，總有不盡人意的地方，這時候就需要做出新產(chǎn)品，要求我們的工具不斷提升精度、提升強度，改進溫度一致性、臺間差、一致性等等。這些都是海洋光學最擅長的，因為我們30年專注于光譜領(lǐng)域進行耕耘，有了牢靠的基礎(chǔ)和積累，我們打造出來的工具就是用來解決實際問題的?！?/span>

關(guān)于海洋光學

世界上第一臺微型光譜儀的發(fā)明者海洋光學Ocean Insight作為世界領(lǐng)先的光學解決方案提供商，應(yīng)用于半導體、照明及顯示、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)測、生命科學生物、醫(yī)藥研究、教育等領(lǐng)域。其產(chǎn)品包括光譜儀、化學傳感器、計量檢測設(shè)備、光纖、透鏡等。作為光纖光譜儀的發(fā)明者，如今海洋光學在全球已售出超過40萬套的光纖光譜儀。30年來海洋光學專注于光譜技術(shù)和設(shè)備的持續(xù)創(chuàng)新，海洋光學也從一家光譜產(chǎn)品生產(chǎn)商轉(zhuǎn)型為光譜解決方案提供商，持續(xù)豐富擴充光傳感產(chǎn)品線的同時，增強支持和服務(wù)能力，為需要定制方案的客戶提供量身定制的系統(tǒng)化解決方案和應(yīng)用指導。

關(guān)于愛蛙科技

愛蛙科技致力于提供光譜分析儀器銷售、租賃、維護，以及解決方案定制、軟件開發(fā)在內(nèi)的全鏈條一站式精準服務(wù)。作為海洋光學授權(quán)合作伙伴，愛蛙科技與海洋光學攜手共同幫助客戶面對問題、探索未來課題，為打造量身定制的光譜解決方案而努力。