南大光電國產(chǎn)高端光刻膠通過認(rèn)證 用于50nm工藝

4月10日消息，南大廣電在互動平臺表示，該公司自主研發(fā)的高端ArF光刻膠已經(jīng)通過了客戶認(rèn)證，并少量銷售。

南大光電表示，公司已有兩款A(yù)rF光刻膠產(chǎn)品分別在下游客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)上通過認(rèn)證，并實現(xiàn)少量銷售。

現(xiàn)階段驗證工作正在穩(wěn)步推進(jìn)，且針對同一客戶開發(fā)了不同的產(chǎn)品，以滿足客戶的多樣化需求。

此前該公司指出，公司已建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠生產(chǎn)線、年產(chǎn)20噸ArF浸沒式光刻膠生產(chǎn)線及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純試劑生產(chǎn)線，具備ArF光刻膠及配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力，目前公司送樣驗證的產(chǎn)品均由該自建產(chǎn)線產(chǎn)出。

2022 年，南大光電公司實現(xiàn)營業(yè)收入158,123.07萬元，同比增長60.62%;歸屬于上市公司股東的凈利潤18,673.26 萬元，同比增37.07%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤12,562.52萬元，同比增長78.39%。