ASML加快拓展中國(guó)業(yè)務(wù)：支持7nm高端DUV光刻機(jī)可出口

4月28日消息，對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)而言，ASML正在全力以赴，預(yù)計(jì)2023年在中國(guó)的銷(xiāo)售額將保持在22億歐元左右(約合人民幣超162億元)，其正在加快拓展在中國(guó)的業(yè)務(wù)和銷(xiāo)售。

ASML CEO Peter Wennink表示，近幾年，由于新冠疫情供應(yīng)鏈停滯，芯片行業(yè)出現(xiàn)了長(zhǎng)達(dá)多年的短缺。而現(xiàn)在，由于全球消費(fèi)電子產(chǎn)品出貨量持續(xù)下降，科技行業(yè)又再次進(jìn)入半導(dǎo)體供應(yīng)過(guò)剩的窘境。

這位CEO還重申，中國(guó)是全球最大的計(jì)算機(jī)芯片市場(chǎng)，這就要求阿斯麥必須繼續(xù)獲得中國(guó)的市場(chǎng)準(zhǔn)入權(quán)，這是絕對(duì)必要的。

他援引中國(guó)一家汽車(chē)制造商的話稱，這家汽車(chē)制造商計(jì)劃在未來(lái)三年制造大量的電動(dòng)汽車(chē)，要求六七家成熟的半導(dǎo)體工廠為其供貨，但中國(guó)本土的芯片工廠仍處于建設(shè)之中。

“阿斯麥與中國(guó)市場(chǎng)的往來(lái)，無(wú)論是對(duì)阿斯麥來(lái)說(shuō)，還是對(duì)中國(guó)客戶來(lái)說(shuō)，都十分重要。上周，阿斯麥公布了強(qiáng)勁的第一季度業(yè)績(jī)，并稱其對(duì)中國(guó)的銷(xiāo)售額將繼續(xù)增加。”P(pán)eter Wennink堅(jiān)定的說(shuō)道。

最新財(cái)報(bào)中，中國(guó)企業(yè)占阿斯麥第一季度營(yíng)收的 22%，中國(guó)買(mǎi)家占到阿斯麥成熟芯片制造設(shè)備訂單的3成左右，較去年底占比提升了約10%。

在這之前，ASML強(qiáng)調(diào)，新的出口管制措施并不針對(duì)所有浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)，而只涉及所謂“最先進(jìn)”的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。截至目前企業(yè)尚未收到有關(guān)“最先進(jìn)”的確切定義的信息，公司將其解讀為在資本市場(chǎng)日會(huì)議上定義的“關(guān)鍵的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)”，即TWINSCANNXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。

所謂浸沒(méi)式光刻機(jī)，屬于193nm(光源)光刻機(jī)(分為干式和浸沒(méi)式)，可以被用于16nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造，但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中。

ASML公司官網(wǎng)信息顯示，該公司主流的DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款設(shè)備：TWINSCAN NXT：1980Di，TWINSCAN NXT：2000i和TWINSCAN NXT：2050i，其中2000i和2050i兩款是公司在聲明所指的產(chǎn)品。

ASML官網(wǎng)上關(guān)于這一臺(tái)TWINSCAN NXT:1980Di的介紹，其中在分辨率方面，寫(xiě)到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右)，而這是指一次曝光的分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光的。

理論上NXT:1980Di依然可以達(dá)到7nm，只是步驟更為復(fù)雜，成本更高，良率可能也會(huì)有損失，晶圓廠用這一臺(tái)光刻機(jī)，大多是生產(chǎn)14nm及以上工藝的芯片，很少去生產(chǎn)14nm以下的工藝，因?yàn)榱悸实?，成本高，沒(méi)什么競(jìng)爭(zhēng)力。