俄羅斯開發(fā)出可替代光刻機(jī)的芯片制造工具:還要生產(chǎn)7nm芯片
10月10日消息,這對于ASML來說是不是有點(diǎn)魔幻,俄羅斯號(hào)稱開發(fā)出可以替代光刻機(jī)的芯片制造工具。
據(jù)俄羅斯國際新聞通訊社報(bào)道,圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開發(fā)出了一種“國產(chǎn)光刻復(fù)合體”,可用于蝕刻生產(chǎn)無掩模芯片,這將使“解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問題”成為可能。
據(jù)介紹,其中一種工具的成本為 500 萬盧布(當(dāng)前約36.3萬元人民幣),另一種工具的成本未知。
據(jù)開發(fā)人員稱,傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的掩膜板來獲取圖像。該裝置由專業(yè)軟件控制,可實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化,隨后的另外一臺(tái)設(shè)備可直接用于形成納米結(jié)構(gòu),但也可以制作硅膜,例如用于艦載超壓傳感器。
在這之前,俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所就宣布開始朝這個(gè)方向展開工作,所以有上述成功產(chǎn)生并不意外。
要知道,俄羅斯大諾夫哥羅德策略發(fā)展機(jī)構(gòu)發(fā)豪語,宣稱俄羅斯科學(xué)院旗下應(yīng)用物理研究所將會(huì)跌破所有人眼鏡,在2028年開發(fā)出可以生產(chǎn)7納米芯片的光刻機(jī),還可擊敗ASML同類產(chǎn)品。