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集成電路工藝小結(jié)

時(shí)間：2018-07-31 15:10:18
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[導(dǎo)讀]前工序圖形轉(zhuǎn)換技術(shù)：主要包括光刻、刻蝕等技術(shù)薄膜制備技術(shù)：主要包括外延、氧化、化學(xué)氣相淀積、物理氣相淀積(如濺射、蒸發(fā)) 等摻雜技術(shù)：主要包括擴(kuò)散和離子注入等技術(shù)后工序劃片封裝測(cè)試?yán)匣Y選來源:0次

前工序
圖形轉(zhuǎn)換技術(shù)：主要包括光刻、刻蝕等技術(shù)
薄膜制備技術(shù)：主要包括外延、氧化、化學(xué)氣相淀積、物理氣相淀積(如濺射、蒸發(fā)) 等
摻雜技術(shù)：主要包括擴(kuò)散和離子注入等技術(shù)后工序
劃片
封裝
測(cè)試
老化
篩選

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來源：互聯(lián)網(wǎng)

作者：karen

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