利用大功率數(shù)字源表構(gòu)建多源測(cè)量單元（SMU）系統(tǒng) -連載八

當(dāng)同時(shí)使用多個(gè)儀器時(shí)，對(duì)待測(cè)器件的源和測(cè)量時(shí)序進(jìn)行協(xié)調(diào)非常重要。因此，利用可用的軟件方案、以簡(jiǎn)化和/或避免昂貴的編程，是非常有利的。

利用商家提供的免費(fèi)啟動(dòng)軟件驗(yàn)證測(cè)試系統(tǒng)配置和功能。2600A與2650A系列源測(cè)量單元（SMU）提供一款TSP® Express軟件，這是通過儀器web界面使用的免費(fèi)軟件。當(dāng)使用TSP-Link接口創(chuàng)建儀器網(wǎng)絡(luò)時(shí)，可以利用TSP Express軟件來控制網(wǎng)絡(luò)中的所有儀器。圖1給出3個(gè)源測(cè)量單元（SMU）之間的通信設(shè)置圖實(shí)例。利用TSP Express軟件，用戶可以輕松地對(duì)一個(gè)或多個(gè)源測(cè)量單元（SMU）設(shè)置直流和脈沖掃描，同時(shí)，為其他源測(cè)量單元（SMU）分配輸出靜態(tài)偏置電壓，或者對(duì)每個(gè)掃描的偏置電壓階躍變化進(jìn)行編程。內(nèi)置的簡(jiǎn)化繪圖軟件，允許用戶迅速對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行繪圖，并對(duì)所有布線、連接以及參數(shù)是否正確配置進(jìn)行評(píng)估。

圖1 TSP-Link技術(shù)提供無主機(jī)系統(tǒng)擴(kuò)展，并支持儀器之間的通信、精確定時(shí)以及嚴(yán)格的通道同步。

TSP Express軟件還可以訪問2651A與2657A型大功率源測(cè)量單元（SMU）快速模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）能力。利用TSP Express軟件，可以從2651A型源測(cè)量單元（SMU）輸出一個(gè)脈沖通過測(cè)試系統(tǒng)，并獲得響應(yīng)。利用這些結(jié)果可以設(shè)置所需的源和測(cè)量延遲，確保脈沖負(fù)峰期間的數(shù)據(jù)采集。

利用參數(shù)測(cè)試軟件還可以簡(jiǎn)化分立半導(dǎo)體器件測(cè)試。這類軟件包括測(cè)試數(shù)據(jù)庫（含預(yù)先確定的測(cè)試），可以簡(jiǎn)化各種器件的數(shù)據(jù)采集。如果采用多個(gè)源測(cè)量單元（SMU）系統(tǒng)對(duì)于半導(dǎo)體器件進(jìn)行測(cè)試，并使用手動(dòng)探測(cè)器或測(cè)試夾具接觸器件，那么推薦使用吉時(shí)利ACS基礎(chǔ)版軟件。如果利用半自動(dòng)或自動(dòng)探測(cè)器接觸器件，則推薦使用吉時(shí)利ACS標(biāo)準(zhǔn)軟件。