利用大功率數(shù)字源表構(gòu)建多源測量單元（SMU）系統(tǒng)-連載七

一旦系統(tǒng)建立完畢，就要對其功能進(jìn)行測試，并優(yōu)化儀器建立，以獲得最佳測量。

對于開啟狀態(tài)特性分析

在當(dāng)今進(jìn)行的大部分開啟狀態(tài)特性分析中，為了實(shí)現(xiàn)最小熱量，都對器件施加脈沖信號。此外，許多功率半導(dǎo)體器件的最終應(yīng)用也都是在脈沖條件下工作的。讓源測量單元（SMU）的輸出脈沖通過測試系統(tǒng)，并捕獲器件端口響應(yīng)，使測試系統(tǒng)具備合格的脈沖信號能力。吉時利2651A型大功率系統(tǒng)數(shù)字源表內(nèi)含高速模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)，可以同時對電流波形和電壓波形進(jìn)行數(shù)字化。這些模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)對確定系統(tǒng)脈沖性能非常有益。如果脈沖形狀出現(xiàn)異常，要檢查電纜，確保引線電感最小化。盡可能使用吉時利公司提供的低阻抗同軸電纜，同時要使其他引線的感應(yīng)環(huán)路面積最小。

對于關(guān)閉狀態(tài)特性分析

了解系統(tǒng)的源和測量建立時間。進(jìn)行器件關(guān)閉狀態(tài)測量時通常使用高壓源，其中電流較低，器件處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。不過，可能存在無法避免的系統(tǒng)電容，而且器件本身也有一定電容。功率半導(dǎo)體晶體管輸出電容一般在100pF以上。在關(guān)閉狀態(tài)，器件電阻可能達(dá)到1GΩ以上，使得單一RC時間常數(shù)為100毫秒或更長。注意圖1中充電電容器的電壓時間曲線圖。為了生成設(shè)定的讀數(shù)，必須等待至少4～6個時間常數(shù)(4個時間常數(shù) = 99%)的時間，這可能意味著需要將近1秒鐘的建立時間。在估算生產(chǎn)吞吐量或長時間測試（如器件可靠性測試）所需時間時，要考慮這個建立時間。

圖 1 100pF電容器充電的電壓時間曲線。讀數(shù)設(shè)置為時間常數(shù)的4～6倍。T = RC時間常數(shù)。

如果使用同軸連接取代三軸連接，要清楚：為了獲得精確和可重復(fù)的低電流測量，還需要額外的建立時間。除了器件的RC，現(xiàn)在建立時間還包括電纜以及測試臺或夾具的RC時間常數(shù)。通過在測試系統(tǒng)輸入端施加電壓階躍，并測試輸出端的電流隨時間延遲，就可以分析整個建立時間。吉時利2657A型或2651A型數(shù)字源表采用最快的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)，為用戶提供迅速而簡易的獲得建立時間信息的方法。器件測試時，通過觀察電流下降至低于器件預(yù)期本底噪聲的時間，來選擇測量延遲。