如今能獨立設計、制造尖端半導體芯片的企業(yè)屈指可數(shù),Intel當屬各種翹楚,可以在不超過一個指甲蓋大小的面積內封裝數(shù)十億個微小的電子開關。這是人類最復雜的壯舉之一。
最近,Intel特意制作了一段動畫視頻(戳這里),展示了一顆芯片從概念到客戶手中的整個旅程,堪稱“點沙成金”。
晶體管是所有現(xiàn)代電子產品的核心,是比頭發(fā)絲還要細微上萬倍的微型開關,控制著電子在電路中的流動。
在處理器整個加工過程的開始,需要將富含硅的沙礫熔化,并冷卻形成固體,然后切割成晶圓。
純凈的晶圓進入工廠后,就開始了復雜而漫長的加工旅程。這些晶圓將被裝載到前開式晶圓傳送盒(Foup),并沿著一條數(shù)百公里長的軌道,運輸?shù)揭粋€個加工環(huán)節(jié)中去。
晶片需要經歷一系列重要步驟,如光刻、離子注入、蝕刻,為關鍵的晶體管形成過程做好準備。Intel全球首家推出了FinFET三維晶體管,而制造它首先需要建造一個鰭狀的通道。
Intel設計了多項創(chuàng)新技術,克服持續(xù)擴大集成電路規(guī)模所面臨的障礙,其中之一就是名為“gate last”(后柵極法)的突破性制造方法。
它采用先建造臨時柵極、再將其移除的方法,精確放置介電質材料和金屬柵極,能讓柵極包裹鰭片,用以控制通過通道的電子流。
另一項發(fā)明則是將晶體管接觸層移動到有源柵極的正上方,為此需要讓柵極材料凹陷并填充絕緣介電材料,以防止發(fā)生短路。
接下來,要對柵極附近的電介質進行蝕刻、填充金屬、凹陷加工并加頂,以實現(xiàn)允許高密度接觸層幾何圖形的全新自對準工藝,然后選擇性地對介電材料進行蝕刻,僅暴露所需部分,以連接到第一條金屬線。
這一工藝是通過創(chuàng)新的通孔蝕刻和沉積方案完成的,可實現(xiàn)“有源柵極上接觸”。
最后,添加數(shù)十層金屬互連線來完成電路。
經過1000多道復雜的工序后,最終才能進行晶圓的切粒和封裝,得到我們熟悉的處理器。
Intel強調,不斷創(chuàng)新的處理器封裝方式已經成為先進計算架構的關鍵特性,2D和3D封裝技術實現(xiàn)了新的封裝規(guī)格,并進一步提升了性能和能效。