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[導(dǎo)讀]最近,光刻機(jī)全球領(lǐng)導(dǎo)廠商荷蘭ASML發(fā)布最新報(bào)告,ASML宣布,今年一季度,他們共獲得了73 臺光刻機(jī)訂單,其中 11 臺是極紫外EUV光刻機(jī)。這 73 臺光刻機(jī)訂單中,有 72 臺將是新生產(chǎn)的光刻機(jī),另外 1 臺則是翻新的光刻機(jī)。據(jù)介紹,這73 臺光刻機(jī)訂單金額高達(dá) 30.85 億歐元,其中11臺EUV光刻機(jī)的訂單金額為15億歐元。

光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造流程的核心設(shè)備,由于技術(shù)復(fù)雜、技術(shù)壟斷,導(dǎo)致價(jià)格昂貴。

最近,光刻機(jī)全球領(lǐng)導(dǎo)廠商荷蘭ASML發(fā)布最新報(bào)告,ASML宣布,今年一季度,他們共獲得了73 臺光刻機(jī)訂單,其中 11 臺是極紫外EUV光刻機(jī)。這 73 臺光刻機(jī)訂單中,有 72 臺將是新生產(chǎn)的光刻機(jī),另外 1 臺則是翻新的光刻機(jī)。據(jù)介紹,這73 臺光刻機(jī)訂單金額高達(dá) 30.85 億歐元,其中11臺EUV光刻機(jī)的訂單金額為15億歐元。

根據(jù)ASML此前的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù),2019年Q1,ASML獲得的光刻機(jī)訂單是 34 臺,金額 13.99 億歐元。相比去年一季度,無論是訂單數(shù)量還是訂單金額,ASML在今年一季度都實(shí)現(xiàn)了暴增。

從高端的極紫外EUV光刻機(jī)訂單量來看,ASML去年的財(cái)報(bào)顯示,2019年ASML全年共計(jì)出貨26臺EUV光刻機(jī),而今年僅一季度就獲得了11臺EUV光刻機(jī)訂單,可以預(yù)計(jì),今年在EUV光刻機(jī)的出貨量上,也要遠(yuǎn)超去年。

根據(jù)最新的訂單金額,21ic小編粗算了一下,最高端的EUV光刻機(jī)每臺大約10億元人民幣,即便是中低端的光刻機(jī)產(chǎn)品,每臺也要約2億元人民幣。

這么昂貴的設(shè)備,ASML的光刻機(jī)都賣給了誰呢?

光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)的必備設(shè)備,全球的晶圓廠、代工廠原則上都是ASML的潛在客戶,尤其是在EUV光刻機(jī)產(chǎn)品上,ASML是獨(dú)家供貨商。根據(jù)去年的數(shù)據(jù),其售出的26臺極紫外線(EUV)光刻機(jī)中的一半左右賣給了臺積電公司。

中國的晶圓代工企業(yè)中芯國際也向ASML預(yù)定了極紫外EUV光刻機(jī),但遺憾的是,由于種種原因,目前仍未能到貨。

不過,雖然沒有EUV光刻機(jī),但據(jù)中芯國際梁孟松介紹,中芯國際已研發(fā)了N+1、N+2工藝,N+1與現(xiàn)在的14nm工藝相比,性能有20%的提升,功耗將會(huì)降低50%,并且SoC面積對比減小55%。如果從性能上來看,該工藝與7nm稍有差距,但是功耗要低得很多??梢钥闯觯旧?,中芯國際N+1、N+2工藝已十分接近7nm工藝,該技術(shù)將于2020年底開始試驗(yàn)產(chǎn)能。

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