超聲波傳感器用于工業(yè)過程薄膜厚度監(jiān)控的解決方案

當一個方向的長度比其它兩個方向的長度小時，這種結構稱之為薄膜。

如今，微電子薄膜，光學薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業(yè)生產和人類生活中的不斷應用，在工業(yè)生產的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。

通常情況下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離，而實際上，薄膜的表面是不平整，不連續(xù)的，且薄膜內部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質、晶格缺陷和表面吸附分子等。

如大規(guī)模集成電路的生產工藝中的各種薄膜，由于電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對集成電路的性能都會產生直接的影響。除此之外，薄膜材料的力學性能，透光性能，磁性能，熱導率，表面結構等都與厚度有著密切的聯(lián)系。

因此在生產工藝中對膜厚進行在線精確檢測， 是保證產品質量和提高生產效率的重要手段。

對于薄膜厚度的準確測量，取決于使用什么樣的厚度傳感器，目前在線薄膜厚度的檢測技術主要有幾種方式：

1、貝它探頭，是最早用于薄膜檢測的傳感器，使用貝它放射源作為信號源，技術成熟。但是需要辦理放射源使用許可證，進出口手續(xù)比較復雜。有半衰期的使用年限限制，且檢測精度會隨著放射源的衰減而降低。

2、紅外探頭，利用特定紅外線波段在特定的塑料薄膜中被強烈吸收的原理測量薄膜的厚度。該傳感器檢測穩(wěn)定，不受壞境變化影響，但對添加劑及顏色的變化敏感，在同一生產線上要生產多種產品不能適應。

3、X線探頭，利用X線管通電產生X線作為信號源來檢測塑料薄膜的厚度。有諸多優(yōu)點：飛放射性物質；低能量無需使用許可證；測量范圍廣；測量精度高；各種塑料都可測量，不受添加劑和色母料的影響。

目前膜厚測量儀器向高精度、自動化方向發(fā)展， 已達到很高的水平， 其測量精度對一般膜層為被測膜厚的±2％～±5％， 對于較薄膜為±2nm， 并具有微區(qū)測量功能、測量速度快、自動化程度高。

特別是隨著科技的進步和精密儀器的應用，除了上述的檢測技術方式外薄膜厚度的測量方法還可以用超聲波傳感器來對薄膜厚度進行檢測，工采網(wǎng)推薦的MaxBotix 超聲波傳感器 － MB7480是高性能超聲波精度 測距儀可在空氣中提供高精度，高分辨率的超聲波測距。

超聲波傳感器 － MB7480系列適用于自動化／過程控制應用的高性價比解決方案，其中精確的測距，低電壓操作，節(jié)省空間，需要低成本和IP67耐候性。

該傳感器組件允許其他更昂貴的精密測距儀的用戶在不犧牲性能的情況下降低系統(tǒng)成本。傳感器輸出可與現(xiàn)有PLC設備配合使用，也適用于長距離電纜敷設的應用。

超聲波傳感器MB7480 特點

• IP67防塵防水標準封裝

• 體積小低成本方案

• 高分辨率

• 傳感器直接報告距離讀數(shù)

• 實時標定，抗聲音和電子噪音

• 可測距離長達5米

超聲波傳感器MB7480產品參數(shù)

• 檢測距離：50cm～5m

• 波束角：11°

• 供電電壓：10V－32V

• 采樣速率：7．5Hz

• 工作溫度：－40℃～ ＋65℃

• 輸出方式：4～20mA模擬電流

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