普發(fā)真空攜多款解決方案亮相SEMICON China 2021

2021年3月17日，上海——為期3天的全球半導(dǎo)體年度盛會(huì)SEMICON China 2021在上海隆重開(kāi)幕，作為全球真空技術(shù)和泄漏檢測(cè)解決方案的供應(yīng)商之一，普發(fā)真空在展會(huì)上亮相了其在半導(dǎo)體以及其他先進(jìn)制造業(yè)和科研領(lǐng)域的整體解決方案。

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)離不開(kāi)潔凈的真空環(huán)境。普發(fā)真空在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)展示了其明星產(chǎn)品，包括ASM 392檢漏儀、A 3004多級(jí)羅茨泵、A 200L多級(jí)羅茨泵以及HiPace 2300渦輪分子泵，與全球半導(dǎo)體領(lǐng)域的友商及媒體朋友們深度交流，共同探討普發(fā)真空如何在中國(guó)助力未來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。

普發(fā)真空展臺(tái)

普發(fā)真空總經(jīng)理Julien Valentin表示：“盡管受到新冠疫情的影響，中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)仍呈現(xiàn)出逆勢(shì)增長(zhǎng)趨勢(shì)。中國(guó)市場(chǎng)位列普發(fā)真空增長(zhǎng)戰(zhàn)略支柱之一，成為促進(jìn)我們?nèi)驑I(yè)務(wù)發(fā)展的強(qiáng)勁動(dòng)力。未來(lái)，我們將繼續(xù)因地制宜，持續(xù)深耕中國(guó)市場(chǎng)，更好地服務(wù)本土客戶，推動(dòng)中國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛。”

節(jié)能高效靈敏，滿足嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造應(yīng)用

半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)對(duì)于真空生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴(yán)苛，這些應(yīng)用要求真空儀器具備快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。普發(fā)真空的ASM 392檢漏儀無(wú)與倫比的靈敏度和精確度恰好能夠滿足這一需求。

除了檢漏儀都會(huì)配備的干式非接觸式前級(jí)真空泵和高真空渦輪分子泵之外，它裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵，能縮短泄漏檢測(cè)時(shí)間，同時(shí)不會(huì)在尺寸和可操作性方面有任何妥協(xié)，人機(jī)工學(xué)設(shè)計(jì)獨(dú)特，可操作性強(qiáng)，可用于各種測(cè)試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應(yīng)對(duì)自如，這都使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測(cè)試的理想工具。

對(duì)于半導(dǎo)體晶圓、顯示屏及太陽(yáng)能電池等嚴(yán)苛型應(yīng)用，普發(fā)真空展示了A 3004多級(jí)羅茨泵。它的抽速高達(dá)3,000 m³/h，工藝壽命延長(zhǎng)，能耗降低，是市場(chǎng)上運(yùn)營(yíng)維護(hù)成本最低的產(chǎn)品之一。除此以外，該系列泵還配備了一個(gè)擴(kuò)展的溫度管理，擴(kuò)大了工作溫度范圍，提高了工藝可靠性。

高能效A 3004多級(jí)羅茨泵，抽速可達(dá)3000m³/h

作為能適應(yīng)高吞吐量應(yīng)用和頻繁抽空循環(huán)的全新200 m³/h級(jí)別產(chǎn)品，A 200L多級(jí)羅茨泵更是展示出了普發(fā)真空在集成干式泵市場(chǎng)中的全球領(lǐng)導(dǎo)地位。A 100 L泵對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)施的泵集成有革命性的意義——這種泵以干式多級(jí)羅茨泵技術(shù)為基礎(chǔ)，盡管尺寸小，卻依然具有高抽速和短抽空時(shí)間。如今，普發(fā)真空A 200系列在全世界范圍內(nèi)眾多300 mm半導(dǎo)體晶圓工廠都已安裝。

此外，普發(fā)真空還重點(diǎn)展示了能夠應(yīng)用于侵蝕性氣體環(huán)境的HiPace 2300渦輪分子泵。這款緊湊且性能卓越的渦輪分子泵具有高性價(jià)比和安裝角度的靈活性，革命性的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)為其帶來(lái)更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。

緊湊的復(fù)合軸承HiPace 2300渦輪分子泵

普發(fā)真空高度重視半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)發(fā)展。2019年在無(wú)錫擴(kuò)建的新工廠更是增加了干泵生產(chǎn)、全新泄漏測(cè)試系統(tǒng)ATC的生產(chǎn)以及泵站組裝等業(yè)務(wù)能力，更好服務(wù)中國(guó)本土客戶需求的同時(shí)，還能夠促進(jìn)公司在真空鍍膜、半導(dǎo)體等市場(chǎng)的戰(zhàn)略增長(zhǎng)。

自1890年創(chuàng)立以來(lái)，普發(fā)真空不斷樹(shù)立真空技術(shù)的新標(biāo)準(zhǔn)，并通過(guò)持續(xù)開(kāi)發(fā)創(chuàng)新成果并成功推向市場(chǎng)，幫助科學(xué)界與工業(yè)界從中受益。未來(lái)，普發(fā)真空期盼以創(chuàng)造出最先進(jìn)的真空技術(shù)解決方案作為源動(dòng)力，以最高標(biāo)準(zhǔn)要求自身，不斷地創(chuàng)新，為中國(guó)客戶提供更豐富的靈感和更多樣的產(chǎn)品組合。