在三名受傷人員中,一名工人的胳膊和腿被燒傷。另有兩名雇員因吸入氟酸氣體而被轉移至附近醫(yī)院。據報道,3名員工均無生命危險。
警察認為,氫氟酸在維護公司正在試用環(huán)境分析設備時泄漏。
科創(chuàng)板日報報道指出,SK海力士亦表示,此次事故是在對新的M16工廠設備進行檢查時發(fā)生的,對半導體生產沒有影響。
據悉,M16工廠將主要生產DRAM產品,總面積5.7萬平方米。在2021年1月,SK海力士在韓國京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式,正式宣布新廠落地。
SK海力士首次在M16配備EUV(極紫外)光刻機,并從今年下半年起生產第四代1α納米級DRAM產品。未來SK海力士將提高EUV設備利用率,進一步增強存儲器半導體相關的先進工程技術領導力。
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