在三名受傷人員中,一名工人的胳膊和腿被燒傷。另有兩名雇員因吸入氟酸氣體而被轉(zhuǎn)移至附近醫(yī)院。據(jù)報(bào)道,3名員工均無生命危險(xiǎn)。
警察認(rèn)為,氫氟酸在維護(hù)公司正在試用環(huán)境分析設(shè)備時(shí)泄漏。
科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)報(bào)道指出,SK海力士亦表示,此次事故是在對(duì)新的M16工廠設(shè)備進(jìn)行檢查時(shí)發(fā)生的,對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)沒有影響。
據(jù)悉,M16工廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品,總面積5.7萬平方米。在2021年1月,SK海力士在韓國(guó)京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式,正式宣布新廠落地。
SK海力士首次在M16配備EUV(極紫外)光刻機(jī),并從今年下半年起生產(chǎn)第四代1α納米級(jí)DRAM產(chǎn)品。未來SK海力士將提高EUV設(shè)備利用率,進(jìn)一步增強(qiáng)存儲(chǔ)器半導(dǎo)體相關(guān)的先進(jìn)工程技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力。
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