沈陽芯源公司“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”獲評遼寧省科技進步一等獎

日前，遼寧省人民政府發(fā)布了關于2019年度遼寧省科學技術獎勵的決定。沈陽芯源微電子設備股份有限公司提報的“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”被評為遼寧省科技進步一等獎。

該項目通過自主研發(fā)，突破了集成電路后道先進封裝InFO工藝涂膠顯影設備關鍵技術，并進行集成創(chuàng)新，使設備整體技術達到國際先進水平。該項目產(chǎn)品于2016年成功拿下臺灣市場批量訂單，實現(xiàn)進口替代。

未來，芯源公司將不斷加大創(chuàng)新力度，為客戶提供更加優(yōu)質可靠的產(chǎn)品，助推國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)進步，成為受社會尊重的世界級企業(yè)!