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[導(dǎo)讀]全球芯片荒背景下,光刻機作為組成芯片生產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備同樣供不應(yīng)求。為把握芯片缺貨潮所帶來的市場機遇,晶圓制造商爭相投資擴產(chǎn),中芯國際、三星、臺積電等廠商都在囤積光刻機。而盤踞在這些廠商頭上的光刻機巨頭ASML則成了這場芯片危機中最大的贏家。十年前,三星電子出資3,630億韓元(折...


全球芯片荒背景下,光刻機作為組成芯片生產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備同樣供不應(yīng)求。為把握芯片缺貨潮所帶來的市場機遇,晶圓制造商爭相投資擴產(chǎn),中芯國際、三星、臺積電等廠商都在囤積光刻機。而盤踞在這些廠商頭上的光刻機巨頭ASML則成了這場芯片危機中最大的贏家。
十年前,三星電子出資3,630億韓元(折合人民幣約21億元)購買了ASML的股份。到2020年,這家荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商所持股份的價值激增了9倍。目前,該股份的價值約為4.5萬億韓元(折合人民幣約262億元),是投資額的12倍。
而2020年底,三星電子持有ASML的股票價值為3.35萬億韓元(約196億人民幣)。也就是2021年一個多季度的時間里,三星持有的這部分股票增長超過了1萬億韓元(人民幣58億),而且ASML的股價還在持續(xù)上漲中。
當初不看好的一筆投資
十年前,為了確保從該公司購買設(shè)備方面處于有利地位,三星購買了ASML 3%的股份。對于在晶圓代工中落后于臺積電的三星電子來說,及時購買極紫外(EUV)設(shè)備至關(guān)重要。
與三星一同入股ASML的還有英特爾和臺積電。他們是目前僅有的三家擁有ASMLEUV光刻機設(shè)備的公司。
當時,ASML要在18寸光刻機和EUV上兩線作戰(zhàn),但實在是缺錢,于是拿出25%的股份向主要客戶提出投資計劃。那時ASML市值差不多就200億美元。
據(jù)了解,這是當時還比較窮的ASML主動發(fā)起,而不是三大巨頭主動投的。因為EUV技術(shù)難度巨大,項目失敗風(fēng)險驚人。
在股票鎖定期到期后的2015年,臺積電和英特爾先后賣掉所有ASML公司的股票,三星也賣掉了一半,只剩1.5%。
如今看來,三星還好沒有將股票全部賣掉。
窮小子ASML逆襲史
三大巨頭關(guān)鍵時刻的投資讓ASML免去資金短缺之愁,才有了后來EUV光刻機設(shè)備的成功。如今,ASML是世界上唯一能夠制造7nm及以下EUV(極紫外光刻)工藝的光刻機設(shè)備提供商。一臺EUV(極紫外線)光刻機賣1.2億歐元(折合人民幣約9億)都被爭相搶購。
ASML是一家荷蘭公司,誕生于上世紀,脫胎于飛利浦公司旗下的一個研究院。
成立之初,ASML面臨的最大問題是資金短缺和技術(shù)落后,依賴飛利浦,靠貸款和政府補貼生存,但這并不妨礙它夢想成為市場霸主。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)屬于資金密集型產(chǎn)業(yè),光刻機作為推動摩爾定律最關(guān)鍵的設(shè)備,研發(fā)新產(chǎn)品時更需要龐大的資金投入。
彼時,市場被日本和美國公司占據(jù),僅日本的“微影雙雄”——尼康佳能兩大巨頭已經(jīng)占據(jù)了80%的市場份額。
在激烈的市場競爭中,ASML經(jīng)歷了許多驚心動魄的瞬間,發(fā)展前景存在很大的不確定性。
對ASML來說,1996年上市是一個很大的轉(zhuǎn)折點,因為財務(wù)危機終于得以化解。此后ASML開始放手干,擴建產(chǎn)線,建設(shè)基礎(chǔ)設(shè)施和研發(fā),做好與“微影雙雄”殊死 搏斗的準備。
ASML首先確定了模塊化戰(zhàn)略采購政策,編制清晰規(guī)范的外包合作協(xié)議,牢牢趕超、突破、把控光刻機最核心的技術(shù),核心部件自制,其余部件采取模塊化公開采購。
之后2012年,ASML斥資19.5億歐元收購美國頂級光源企業(yè)Cymer,加速了ASML EUV光刻機的研發(fā)之路。并在最終打通了 EUV 產(chǎn)業(yè)鏈,推出 EUV 光刻機,對尼康和佳能做出了致命一擊,奠定了自身光刻機龍頭的地位。
決定晶圓代工勝負的“靈魂公司”
在風(fēng)云變幻的商業(yè)競爭環(huán)境中,ASML擊敗競爭對手取得成功離不開大客戶的支持,三星和臺積電都是不可或缺的大客戶。
臺積電實際上是在80年代末開始起家的,和飛利浦有著很久的歷史淵源。臺積電利用的是飛利浦公司開發(fā)的芯片生產(chǎn)技術(shù),雙方有交叉協(xié)議,所以在二十年前,飛利浦在臺積電有股份,大約10%左右,但現(xiàn)在是沒有股份的。”《光刻巨人:ASML的崛起之路》作者雷吉梅克曾在接受采訪時表示臺積電是ASML的貴人。
2004年,ASML和臺積電共同研發(fā)出第一臺浸潤式微影光刻機,優(yōu)秀的性能和穩(wěn)定的技術(shù),波長達132nm,全面碾壓尼康的157nm,獲得行業(yè)關(guān)注。
三星則是ASML在90年代期間一直想要拿下的客戶,但是很長一段時間都沒有成功。
1984年,三星的市場份額還是零,但到1993年,它已是第一大DRAM制造商,擁有全球10%以上的內(nèi)存芯片市場。三星成了絕對的行業(yè)巨擘。當時三星對佳能和尼康很滿意,無論是品質(zhì)還是價格方面,因此不想替換自己的設(shè)備供應(yīng)商。
直到三星在偶然間見識到阿麥斯設(shè)備的演示,才發(fā)現(xiàn)這個不起眼的公司生產(chǎn)的設(shè)備雖然貴了點,但是在后期的生產(chǎn)可以給自己帶來更多收益。第一臺PAS 5500于1995年2月到達三星。三星用它來開發(fā)一項0.26微米的工藝以生產(chǎn)16Mb DRAM。在隨后的幾年里,三星才對ASML有了信任。這對ASML能夠穩(wěn)定量產(chǎn)光刻機有了很大的幫助。
如今,臺積電、三星正在“瘋狂”搶奪ASML光刻機。除了為擴大產(chǎn)能外,更重要是為了保持先進制程上的領(lǐng)先。
4月9日,臺積電已經(jīng)從ASML下單訂購了至少13臺Twinscan NEX EUV光刻機。三星也決定不惜一切代價確保來自頭部廠商的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng),這其中就包括荷蘭ASML的光刻機。
三星和臺積電是全球晶圓代工僅剩的兩大巨頭,正在爭相稱霸。兩家公司在晶圓制造方面的優(yōu)勢很相似,這場競賽的成敗關(guān)鍵在于誰能搶到更多先進設(shè)備。現(xiàn)在看來,世界頭號光刻機廠商ASML將在這場晶圓代工之爭中扮演關(guān)鍵角色。
鑒于這兩家晶圓代工巨頭和ASML都有著深厚的淵源,筆者認為這場晶圓代工之爭暫時還勝負難分。
ASML表示,公司2018年-2020年的EUV設(shè)備出貨量分別為18臺、26臺和31臺。公司計劃在2021年提高生產(chǎn)率將出貨量提高到40臺,但即使這個數(shù)量也不足以滿足當前的所有需求。ASML的訂單已經(jīng)被預(yù)訂到了2021年甚至2022年。
三星和臺積電極有可能搶到ASML2021年將推出的40臺EUV光刻機70%80%的份額。截至2020年底,ASML已經(jīng)為臺積電提供了40EUV光刻機,為三星提供了17-19臺EUV光刻機。
SK海力士宣布,2021年到2025年將花費4.75萬億韓元(折合人民幣約277億)購買EUV設(shè)備。除去到運輸和安裝設(shè)備的成本,預(yù)計也就是18臺EUV光刻機。
同樣,英特爾也參與了這場EUV光刻機爭奪戰(zhàn),宣布斥資200億美元(折合人民幣約1297億)重返晶圓代工行業(yè)。畢竟這場全球半導(dǎo)體先進工藝研發(fā)的資本大戰(zhàn)中,誰搶到了足夠的高端設(shè)備,誰就占得更多的市場和先機。



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