據(jù)日經(jīng)新聞11月6日報道，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)供應(yīng)極紫外光(EUV)光刻機給中芯國際的計劃已經(jīng)中止，多位ASML供應(yīng)商關(guān)系人士指出，ASML是為了避免因供應(yīng)最先進的設(shè)備給中國，擔(dān)心刺激到美國，因此決定暫時中止交貨。
據(jù)了解，中芯國際是在去年4月份向ASML訂購了EUV光刻機，原定于2019年底交付，到2020年中期完成安裝。
ASML是目前世界上唯一一家能夠生產(chǎn)出高端光刻機的廠商，EUV光刻機是生產(chǎn)最新、最強大芯片必要設(shè)備，它能夠生產(chǎn)出7nm以下的設(shè)備，它的光線波長可以達到普通設(shè)備的十五分之一，因此也可以蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路，如果沒有EUV，芯片研發(fā)將可能會寸步難行。
另有消息人士表示：“ASML決定推遲EUV設(shè)備的交付，是因為不想讓美國政府為了最先進的芯片制造機器運往中國而煩惱。”他還補充說：“但與此同時，ASML不想讓中國客戶感到不安，因為那里是其增長最快的市場。”據(jù)了解，中國市場占ASML營收比重約2成、僅次于韓國(35%)，因此ASML并不是完全取消上述供貨計劃，今后將謹(jǐn)慎確認(rèn)美中緊張情勢是否有好轉(zhuǎn)等情況、再來決定后續(xù)的因應(yīng)對策。
11月7日，針對以上報道，ASML公司官方做出了回應(yīng)，內(nèi)容如下：
關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)昨日報導(dǎo)，其標(biāo)題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導(dǎo)，本公司在此提出澄清。
我司不對任何客戶做comment。對于日經(jīng)新聞報道的關(guān)于交貨時程僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認(rèn)，因此，“延遲出貨”僅為媒體推測。對其將推測直接定性為事實作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。
ASML一向在遵守相關(guān)國際法規(guī)的前提下一視同仁地服務(wù)全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此，關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的，ASML系遵循法規(guī)行事。
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