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[導讀]一、應用背景:磁控濺射是一種磁控運行模式的二次濺射。此種技術廣泛應用于鍍膜設備上,它不僅適用于廣泛的鍍膜靶材(如:銅、鈦、鉻、不繡鋼、鎳等金屬材料),而且鍍膜時還

一、應用背景:

磁控濺射是一種磁控運行模式的二次濺射。此種技術廣泛應用于鍍膜設備上,它不僅適用于廣泛的鍍膜靶材(如:銅、鈦、鉻、不繡鋼、鎳等金屬材料),而且鍍膜時還可大幅度提高膜層的附著力、重復性、致密度和均勻度。

磁控濺射鍍膜設備主要是使用直流磁控濺射,常需要2路輸出穩(wěn)定的直流電源,設定一個電壓值后,要求快速響應到電壓的設定值。電源使用過程中必須保持穩(wěn)定性,電壓數(shù)值不能受負載影響。然而,市面上常用的開關電源為開環(huán)控制,無法確保穩(wěn)定輸出,而一個穩(wěn)定的電壓對鍍膜好壞至關重要,因此設想通過PLC的PID算法,利用現(xiàn)有的直流開關電源,實現(xiàn)電源的快速調(diào)節(jié)和閉環(huán)管理。

如下圖所示,在智能電源控制系統(tǒng)上需要4AI來檢測兩路直流穩(wěn)壓電源的電流信號和電壓信號,作為智能電源的反饋信號;需要使用2AO來控制電壓輸出,使電源具有良好的負載特性,保持恒壓輸出。

 

綜合上述需求,PLC選擇海為的S20M0T的開關量與模擬量混合型主機,主機自帶4路AI模擬量線性輸入,2路AO模擬量線性輸出,模擬量支持工程量轉換,AIAQ寄存器可直接訪問,在模擬量信號處理時非常方便,節(jié)省了不少編程時間;主機還支持32路的PID指令;更重要的是一個主機就搞定了,不需額外添加擴展模塊,經(jīng)濟實惠。

二、現(xiàn)場使用情況:

現(xiàn)場圖片如下:

 

圖1機箱正面圖

 

圖2內(nèi)部電路

 

圖3PLC

 

圖4觸摸屏界面

圖5觸摸屏界面

 

圖6機箱背面

 

圖7模擬負載電阻

PID指令,即特殊控制指令里的PID指令,海為全系列PLC都支持。本系統(tǒng)根據(jù)負載的變化,在線監(jiān)控時結合軟件自帶的實時曲線表調(diào)整參數(shù),逐一調(diào)整PID三個參數(shù)使之達到最好的效果。參數(shù)經(jīng)過調(diào)試整定之后,實現(xiàn)了電壓的快速調(diào)節(jié)和穩(wěn)定輸出,實現(xiàn)了電源的閉環(huán)管理,為更好地磁控濺射鍍膜提供了良好的基礎。

三、使用感想:

初次使用海為PLC,感覺其編程軟件非常人性化,易于上手。

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