SemiLAB發(fā)力半導體市場，利用IR設備精確測量存儲器結構

據(jù)韓ý報道，得益于最新紅外(IR)測量設備商業(yè)化的推動，韓國設備廠商SemiLAB Korea正加快腳步進軍半導體市場。SemiLAB是全球第四大半導體測試解決方案供應商，提供靈活的測試解決方案用于半導體材料、工藝監(jiān)控，測試設備被廣泛應用于光伏、半導體、科研以及平板測試領域。

SemiLAB Korea發(fā)明了一種利用紅外測量設備精確測量DRAM和NAND Flash結構的方法，可以在生產DRAM前，監(jiān)測用作絕緣膜的BPSG(硼磷硅酸鹽玻璃)和NAND Flash的蝕刻工藝。SemiLAB Korea首席執(zhí)行官Park Soo Yong強調，由于紅外光線具有更長的波長，可以觀測到更復雜的薄膜結構。

與此同時，SemiLAB Korea還計劃增加標準化設備的供應，除了半導體行業(yè)，還包括太陽能電池和顯示器市場。計劃通過不斷提供利用光學和電學特性的測量設備來建立可靠性的策略。

SemiLAB Korea已將今年的銷售目標提高至200億韓元(去年為140億韓元)，明年為260億韓元。