集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?；a(chǎn)項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)封頂儀式圓滿舉行

近期，山東有研半導(dǎo)體一期項(xiàng)目——集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?；a(chǎn)項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)封頂儀式在德州舉行。該項(xiàng)目于 2018 年 7 月由德州與有研科技集團(tuán)半導(dǎo)體材料公司簽訂，對(duì)德州打造戰(zhàn)略性新興特色產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展意義重大。

山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目于今年 3 月份舉行開工儀式，是山東省 2019 年省級(jí)重點(diǎn)“頭號(hào)”項(xiàng)目，總投資約 80 億元，分兩期建設(shè)。一期新建年產(chǎn) 180 萬片的 8 英寸硅片生產(chǎn)線，二期規(guī)劃年產(chǎn) 360 萬片 12 英寸硅片。

了解到，有研當(dāng)期項(xiàng)目投資 18 億元，總建筑面積約 10 萬平方米，新建單晶廠房 1 棟、硅片加工廠房 1 棟、綜合動(dòng)力站 1 棟及倉庫、氣站等;形成年產(chǎn) 276 萬片 8 英寸硅片、180 萬片 6 英寸硅片以及 300 噸 12-18 英寸硅單晶的生產(chǎn)能力。

該項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，可實(shí)現(xiàn)年銷售收入 10 億元、利稅 2 億元，將成為北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地。計(jì)劃于 2020 年 3 月底完成機(jī)電安裝和動(dòng)力設(shè)施調(diào)試，2020 年 6 月底完成工藝設(shè)備調(diào)試并試產(chǎn)。

有研科技集團(tuán)黨委書記、董事長趙曉晨表示，我國 8 英寸硅片的 80%，12 英寸 100%依靠進(jìn)口，半導(dǎo)體領(lǐng)域高品質(zhì)材料自給率不足 10%，集成電路用大直徑硅片面臨巨大機(jī)遇期。此次，12 英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式簽約，將改善大尺寸硅片依賴進(jìn)口的局面。

據(jù)了解，12 英寸硅片是 5G 通訊、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域高端芯片應(yīng)用的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，是推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)升級(jí)，引領(lǐng)新產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要力量。有研科技集團(tuán)經(jīng)過十多年的努力，完成了從單一研究機(jī)構(gòu)向大型研發(fā)生產(chǎn)基地的轉(zhuǎn)型，建成了集成電路用 8 英寸硅單晶拋光生產(chǎn)線和 12 英寸硅片中試線，應(yīng)代表著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最高技術(shù)水平。