上海凱世通為全球先進(jìn)芯片客戶提供服務(wù)

近期由國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)資訊，萬業(yè)企業(yè)全資子公司上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡稱“凱世通”)的低能大束流集成電路離子注入機已搬進(jìn)杭州灣潔凈室，目前正在根據(jù)集成電路芯片客戶工藝要求，進(jìn)入離子注入晶圓驗證階段。

業(yè)內(nèi)人士指出，這標(biāo)志著公司已具備先進(jìn)制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力，未來有望為全球先進(jìn)制程邏輯、存儲、5G 射頻、攝像頭 CIS、功率半導(dǎo)體等不同應(yīng)用領(lǐng)域芯片客戶提供離子注入工藝驗證服務(wù)，提升客戶晶圓制造能力與芯片性能。

近年來，萬業(yè)企業(yè)積極謀求轉(zhuǎn)型集成電路，以“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”雙輪驅(qū)動，縱深推進(jìn)公司快速變革。2018 年，公司成功收購國內(nèi)唯一商用的光伏與集成電路離子注入機公司——凱世通，切入離子注入機業(yè)務(wù)。

據(jù)了解，離子注入是芯片制造前道工藝中必不可少的一道，每個芯片制造過程中都需進(jìn)行 20-25 次的離子注入，因而離子注入機的研制是整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。由于離子注入機至關(guān)重要，業(yè)內(nèi)將其與光刻機、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備被并稱為集成電路制造的“四大金剛”。

公開資料顯示，離子注入機是芯片制造必不可少的關(guān)鍵設(shè)備之一，為快速突破集成電路國產(chǎn)化瓶頸，近年來，國產(chǎn)離子注入機也受到國家政策的重點支持。2014 年，在《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中，明確指出離子注入機是發(fā)展我國集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備;2017 年，發(fā)改委頒布的《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄》中將集成電路離子注入機納入目錄范圍;2018 年，工信部發(fā)布的《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》，將中束流、大束流以及高能離子注入機列入名單。從各類政策可見，萬業(yè)企業(yè)專注研發(fā)的離子注入機等制造裝備已是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化過程中必需攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

隨著集成電路工藝技術(shù)的持續(xù)提升，晶體管不斷縮小，集成電路制程進(jìn)一步向尖端工藝發(fā)展，這對相關(guān)生產(chǎn)制造設(shè)備也提出了更高的要求。在此背景下，萬業(yè)企業(yè)聚焦的技術(shù)含量最高的低能大束流離子注入機日漸成為主流。根據(jù)浦東投資的統(tǒng)計，目前低能大束流已占有離子注入機市場份額的 55%。

結(jié)合國內(nèi)外集成電路制程技術(shù)路線現(xiàn)狀，凱世通采取“領(lǐng)先一步”的策略、采用有國際競爭力設(shè)計理念，著力研制 16 納米及以下制程的 FinFET 集成電路離子注入機，并針對研制低能大束流離子注入機所需要解決的關(guān)鍵技術(shù)和技術(shù)難點，建立起相應(yīng)的研發(fā)平臺、相關(guān)核心關(guān)鍵技術(shù)及工藝的研究參數(shù)數(shù)據(jù)庫和性能檢測規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。