VEECO和ALLOS展示行業(yè)領(lǐng)先的200MM硅基氮化鎵性能，推動(dòng)micro-LED的應(yīng)用

Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)今日宣布和ALLOS Semiconductors (ALLOS)達(dá)成了一項(xiàng)戰(zhàn)略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍(lán)/綠光microLED的生產(chǎn)。維易科和ALLOS合作將其專有外延技術(shù)轉(zhuǎn)移到Propel® 單晶圓MOCVD系統(tǒng)，從而在現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)micro-LED。

“使用Propel反應(yīng)腔，我們就擁有了一項(xiàng)MOCVD 技術(shù)，這項(xiàng)技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量的GaN外延，滿足在200毫米硅生產(chǎn)線上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求，” ALLOS Semiconductors的首席執(zhí)行官 Burkhard Slischka這樣說(shuō)。“不到一個(gè)月時(shí)間我們就已經(jīng)在Propel上對(duì)我們的技術(shù)進(jìn)行了驗(yàn)證，并且獲得了無(wú)裂紋、無(wú)回熔的晶圓，翹曲度低于30微米，晶體質(zhì)量高，厚度均勻性優(yōu)異，波長(zhǎng)均勻性小于1納米。同Veeco攜手，ALLOS期待著將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中更為推廣。”

Micro-LED顯示技術(shù)由<30x30平方微米的紅、綠和藍(lán)(RGB)無(wú)機(jī)LED組成，這些LED被轉(zhuǎn)化為顯示屏背板，以形成亞像素。與有機(jī)LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比，這些高效的LED直接發(fā)射功耗更低，卻可以為移動(dòng)顯示器、電視和可穿戴式計(jì)算機(jī)提供優(yōu)異的亮度和對(duì)比度。Micro-LED的制造要求優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓，以滿足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。

“和競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的MOCVD平臺(tái)相比， Veeco的TurboDisc®技術(shù)提供的制程窗口更大，因此Propel能提一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì)，”維易科高級(jí)副總裁兼MOCVD運(yùn)營(yíng)總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說(shuō)。“將Veeco領(lǐng)先的MOCVD專業(yè)技術(shù)和ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結(jié)合，使我們客戶能夠開(kāi)發(fā)出低成本的micro-LED，以便于在新的市場(chǎng)中開(kāi)拓新的應(yīng)用。”