[導讀]三美電機試制了激光投影儀用MEMS反光鏡。利用壓電元件（PZT）驅(qū)動反光鏡，搜索激光并投影影像。解說員表示，“驅(qū)動功耗僅為10mW，電壓也只有
數(shù)V”。在會場上，以試制反光鏡掃描綠色激光，顯示出了512×512像素、60幀
三美電機試制了激光投影儀用MEMS反光鏡。利用壓電元件（PZT）驅(qū)動反光鏡，搜索激光并投影影像。解說員表示，“驅(qū)動功耗僅為10mW，電壓也只有
數(shù)V”。在會場上，以試制反光鏡掃描綠色激光，顯示出了512×512像素、60幀/秒的影像。試制反光鏡和激光集成在尺寸為
46mm×18mm×13mm的模塊中。另外，MEMS反光鏡的實用化事宜尚未確定。
該公司的PZT薄膜是以旋壓覆蓋（Spin Coat）法制成的。解說員稱，“與濺射法成膜時相比，易于抑制特性不均”。
試制的MEMS反光鏡的外形尺寸約為8.7mm×6.4mm×0.5mm。反光鏡部分的直徑為1mm。照射波長為450nm的光時，反射率超過 85％?？梢栽谒椒较蛏弦?0KHz頻率、垂直方向上以60Hz頻率驅(qū)動反光鏡。
此試制品為三美電機與日本產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所氫材料尖端科學研究中心氫脆化評價研究團隊飯島高志小組共同研發(fā)的成果。（記者：根津 禎）
該公司的PZT薄膜是以旋壓覆蓋（Spin Coat）法制成的。解說員稱，“與濺射法成膜時相比，易于抑制特性不均”。
試制的MEMS反光鏡的外形尺寸約為8.7mm×6.4mm×0.5mm。反光鏡部分的直徑為1mm。照射波長為450nm的光時，反射率超過 85％?？梢栽谒椒较蛏弦?0KHz頻率、垂直方向上以60Hz頻率驅(qū)動反光鏡。
此試制品為三美電機與日本產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所氫材料尖端科學研究中心氫脆化評價研究團隊飯島高志小組共同研發(fā)的成果。（記者：根津 禎）
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