諾發(fā)系統(tǒng)售出第1000臺化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

陳妍蓁 諾發(fā)系統(tǒng)日前宣布賣出第1000臺化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(Vector)給新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7， GLOBALFOUNDRIES為擁有先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)之主要供應(yīng)者，近期更與Chartered Semiconductor Manufacturing進(jìn)行整合，F(xiàn)ab 7亦會將12吋VECTOR Express?應(yīng)用于65奈米及更先進(jìn)技術(shù)的大量生產(chǎn)。



VECTOR系統(tǒng)最初于公元2000年7月引進(jìn)，是可沉積各種介電層應(yīng)用的量產(chǎn)機(jī)臺。 在前段制程中， VECTOR應(yīng)用于沉積閘極spacer與襯層、應(yīng)變硅之高應(yīng)力薄膜、非結(jié)晶碳與抗反射層、硬質(zhì)遮蔽膜及蝕刻終止層；后段制程應(yīng)用則包括于inter-metal與inter-layer之介電層、銅擴(kuò)散阻障層、低介電常數(shù)覆蓋層與最終保護(hù)層。而近期， VECTOR則被采用于新的介電層應(yīng)用，如：超低介電常數(shù)(ULK)薄膜與TSV封裝技術(shù)之介電層。

VECTOR之所以在半導(dǎo)體制造市場被廣泛接受的主因，來自于產(chǎn)品的高生產(chǎn)率、低裝設(shè)與營運(yùn)成本，設(shè)備體積小、高芯片與芯片間的再現(xiàn)能力與極佳的100奈米以下缺陷能力。

在Fab 7中，諾發(fā)系統(tǒng)VECTOR平臺被使用于65奈米及先進(jìn)4= 40奈米技術(shù)節(jié)點(diǎn)之前后段制程的介電層應(yīng)用，GLOBALFOUNDRIES Fab 7營運(yùn)長Peter Benyon表示：「我們期盼與諾發(fā)繼續(xù)于開發(fā)有成本效益，及先進(jìn)技術(shù)解決方案層面的合作關(guān)系，以持續(xù)協(xié)助我們的客戶快速將創(chuàng)新的設(shè)計導(dǎo)入市場」。

諾發(fā)系統(tǒng)公司 PECVD事業(yè)單位資深副總Kevin Jennings也表示：「隨著新合作伙伴Chartered Semiconductor加入GLOBALFOUNDRIES，我們非常開心慶祝賣出第1000臺機(jī)臺，邁向新的里程碑，Chartered Semiconductor自2004年購入第一臺VECTOR系統(tǒng)后，便長期成為諾發(fā)系統(tǒng)的重要客戶之一，我們也希望能與GLOBALFOUNDRIES發(fā)展出相同的緊密關(guān)系」。