半導體設備商選擇Spartan EFEM作第二代測量工具

頂尖半導體設備產商選擇Crossing Automation公司的Spartan EFEM用于第二代量測工具

加州弗利蒙市-2010年6月8日Crossing Automation公司（www.crossinginc.com）今天宣布，其開發(fā)的SpartanTM設備前端模塊（EFEM）已被一家頂尖的光刻與測量設備產商選擇用于第二代量測工具。 Crossing是一家向大規(guī)模半導體設備產商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動化解決方案的領先供貨商。

Spartan EFEM之所以被選中，是因為一方面Crossing能對其進行個性化設計來滿足客戶的特定需求，另一方面它的平臺容易實現軟件集成。此外，Crossing還能提供ExpressSolutions?工程支持，這將顯著縮短產品的市場推廣時間。此訂單表明，Crossing的常壓晶圓加工技術又獲得了一家一線原始設備制造商（OEM）新客戶。

“這個大訂單完全證明了Spartan的技術價值，以及我們通過Spartan提供的服務與支持能力致力于為OEMs服務，”Crossing Automation公司的產品營銷副總裁May Su介紹，“我們能夠和客戶一道設計并提供定制界面，極大地促進制造工藝與測試模塊的集成，同時Spartan的卓越表現能滿足各種光刻工藝的嚴格要求?！?br>

通過Spartan，Crossing能夠通過簡潔統(tǒng)一的設計提供完整的EFEM解決方案，該方案提供更高效率、更好的微塵性能、優(yōu)化的超凈空間和更低的擁有成本。促使用戶選擇Spartan的主要功能之一便是其先進的被動背面接觸（PBC）終端受動器設計，可消除邊緣接觸處的微塵，并通過使用專用的聚合物襯墊盡量減少背面的微塵。 Spartan自帶的Wafer Engine?機器人的高精度和高可靠性也為它提供了更多的競爭優(yōu)勢。