德國艾爾芙特 – X-FAB Silicon Foundries,日前宣布為了MEMS的營運將在未來的三年投資5000萬美金以上在無塵室、新設(shè)備、研發(fā)與人員,這些投資也反映X-FAB意義深遠地聚焦在MEMS以因應(yīng)預(yù)期中MEMS的成長。新品牌”X-FAB MEMS Foundry”在德國艾爾芙特的X-FAB廠區(qū)內(nèi)完全專注于先進的MEMS生產(chǎn)與研發(fā),并將整合所有X-FAB MEMS的業(yè)務(wù)。
X-FAB執(zhí)行長Rudi De Winter表示,”在X-FAB所有的業(yè)務(wù)中,MEMS是一塊策略領(lǐng)域以服務(wù)我們客戶不斷成長的需求。我們的客戶將受益于只專注在先進MEMS技術(shù)的專用資源與專業(yè)的代工,并建立在X-FAB卓越技術(shù)的堅固基礎(chǔ)上。此舉將帶領(lǐng)X-FAB朝向我們的目標,成為全球前三大MEMS代工服務(wù)的供貨商。”
X-FAB近期MEMS的技術(shù)成就包含:
業(yè)界首個為MEMS三軸慣性傳感器(3-axis inertial sensor)提供的開放性平臺,一個可以直接從代工廠量產(chǎn)的制程 為MEMS完成專用的貴金屬設(shè)備 生產(chǎn)8英吋MEMS的能力 可大量制造并整合CMOS的bulk與表面微機械加工技術(shù) 為主流MEMS應(yīng)用所發(fā)展的內(nèi)部技術(shù)平臺,如壓力傳感器、慣性傳感器、紅外線傳感器 可立即使用的MEMS加速度計的IP