加速度計不再是MEMS專利 Epson完成石英加速度計開發(fā)

由于感測加速度與角速度等物理量變化并非硅微機電系統(tǒng)(MEMS)的專利，石英組件供貨商Epson Toyocom亦預(yù)定在2010年推出以石英為基礎(chǔ)的加速度感應(yīng)器，以分食龐大的加速度感應(yīng)器市場大餅。

Epson Toyocom開發(fā)技術(shù)統(tǒng)括部暨商品企劃戰(zhàn)略部課長宮澤輝久指出，該公司的石英加速度傳感器開發(fā)已接近完成階段，預(yù)計在2010年進行量產(chǎn)。

拜任天堂(Nintendo)的Wii游戲機和蘋果(Apple)iPhone熱潮所賜，加速度、角速度等感測組件也成當(dāng)紅炸子雞，讓硅微機電系統(tǒng)(MEMS)快速竄紅。不過，石英組件也已蓄積能量，不愿錯失此一商機。Epson Toyocom開發(fā)技術(shù)統(tǒng)括部暨商品企劃戰(zhàn)略部課長宮澤輝久指出，石英音叉本身除可產(chǎn)生穩(wěn)定的頻率頻率外，在設(shè)計上略經(jīng)修改后，也可以扮演加速感應(yīng)器的角色。其動作原理在于外界施加的力量會改變石英音叉的共振頻率，因此只要檢測石英共振頻率的變化，就能得知該力量的強度。

目前Epson Toyocom已開發(fā)出石英加速度傳感器的原型，除了石英音叉本體外，該組件還包含其它周邊電路，系負責(zé)將頻域訊號轉(zhuǎn)換成模擬電壓輸出。該公司預(yù)計將在2010年量產(chǎn)以石英為基礎(chǔ)的第一款加速度傳感器，。

事實上，石英晶體除了被用來產(chǎn)生頻率訊號外，近年來也發(fā)展出許多不同的新應(yīng)用，如角速度感測、壓力感測等，均為石英組件已占有一席之地的領(lǐng)域。為持續(xù)擴大戰(zhàn)果，Epson Toyocom的下一步計劃便是進軍規(guī)模更龐大的加速度感應(yīng)器市場。

不過，石英加速度感應(yīng)器并非無懈可擊。例如與硅微機電系統(tǒng)加速度感應(yīng)器相比，石英方案的尺寸無法像前者般持續(xù)微縮，難以實現(xiàn)三軸加速度感應(yīng)功能。因此，宮澤認為，未來石英和硅感應(yīng)器會自然而然地形成市場區(qū)隔，例如對高可靠度或偵測慢速移動的應(yīng)用而言，石英方案會是比較理想的選擇，因為石英傳感器具備近乎免疫于溫度變化的特性，且其噪聲水平只有硅微機電的十分之一左右，因此特別適合用來偵測微小的加速度變化。