[導(dǎo)讀]臺積電昨(10)日證實,已收到ASML投資邀請,正審慎評估參股可能性。設(shè)備商指出,臺積電因應(yīng)英特爾入股ASML,已備好3套劇本,包括也加入?yún)⒐葾SML、自行研發(fā)投入更先進技術(shù)、投資其它先進技術(shù)設(shè)備廠。業(yè)界研判,臺積電
臺積電昨(10)日證實,已收到ASML投資邀請,正審慎評估參股可能性。設(shè)備商指出,臺積電因應(yīng)英特爾入股ASML,已備好3套劇本,包括也加入?yún)⒐葾SML、自行研發(fā)投入更先進技術(shù)、投資其它先進技術(shù)設(shè)備廠。
業(yè)界研判,臺積電若依英特爾模式參股ASML,應(yīng)是擔(dān)心28納米產(chǎn)能供不應(yīng)求戲碼重演,若能透過參股ASML提升與關(guān)鍵設(shè)備廠合作關(guān)系,未來就不怕?lián)尣坏皆O(shè)備,在最短的時間擴充產(chǎn)能滿足客戶需求。
隨著半導(dǎo)體制程進入20納米以下技術(shù)開發(fā),掌握ASML微影技術(shù)的主控權(quán),等于卡位先進制程的領(lǐng)導(dǎo)地位,臺積電近幾年提高研發(fā)支出,有一大半比重放在微影技術(shù)開發(fā)。
圖/經(jīng)濟日報提供業(yè)界認為,ASML是全球最大微影設(shè)備供應(yīng)商,在稍早的65、40納米技術(shù)時代,晶圓代工廠便礙于ASML產(chǎn)量有限,曝光機臺交期長,即使「有錢也難買設(shè)備」,臺積電若參股ASML,將可在關(guān)鍵機臺取得優(yōu)先采購權(quán)。
若不參股ASML,臺積電也可能自行研發(fā)新微影技術(shù)。臺積電過去曾由微制像技術(shù)發(fā)展處資深處長林本堅領(lǐng)軍,透過以水當(dāng)介質(zhì),讓浸潤式顯影技術(shù)在90納米使用的波長193納米微影設(shè)備基礎(chǔ),繼續(xù)往下延伸至65納米技術(shù)使用。
臺積電2004年1月啟用全世界第1臺193納米「浸潤式微影技術(shù)」(ImmersionLithography)機臺,就是以既有的ASML設(shè)備機臺,輔以臺積電自行研發(fā)的先進微影技術(shù),帶領(lǐng)臺積電一下子跳躍3個世代,跨入65納米生產(chǎn),奠定先進制程地位。第3種可能則是臺積電轉(zhuǎn)而投資其它的技術(shù)先進公司,轉(zhuǎn)找其它合作伙伴,例如臺積電2007年投資荷蘭新創(chuàng)公司Mapper,跨入無光罩微影技術(shù),Mapper甚至派駐相關(guān)人員在臺積電進行原型機臺研發(fā),仍然讓臺積電在28納米制程上掌握優(yōu)勢,因此臺積電也可能采取這類方式。
帆宣家登大贏家
英特爾大手筆入股ASML,強攻18寸晶圓,帶動相關(guān)設(shè)備商機大開,ASML在臺合作伙伴帆宣,以及已獲英特爾資本(IntelCapital)投資的18寸晶圓材料商家登,將為成最大贏家。
帆宣、家登近期營運走高,帆宣昨(10)日公布6月營收8.83億元,月增48.9%,攀上10個月來高峰。家登6月營收7,722萬元,月增7.57%;第2季營收2.09億元,創(chuàng)單季新高。ASML加快18寸晶圓布局,帆宣、家登營運后市看俏,激勵兩家公司昨天股價同步逆勢上漲逾2%。
帆宣近年積極布局半導(dǎo)體高階設(shè)備,已獲日立國際電氣半導(dǎo)體熱制程技術(shù)移轉(zhuǎn),投入12寸熱制程機臺設(shè)備制造,去年下半年開始出貨臺積電,并與ASML有合作關(guān)系,在設(shè)備制造代工與代理皆有穩(wěn)定發(fā)展。
18寸晶圓使用的曝光機臺開發(fā)昂貴,市場預(yù)期,ASML獲得英特爾入股之后,開發(fā)18寸晶圓用曝光機臺等周邊設(shè)備將如虎添翼,也將釋出部分代工訂單給臺廠,帆宣與ASML合作良好,可望新增不少單價高、利潤好的業(yè)務(wù),直接受惠。
家登獲英特爾資本投資后,成為臺灣首家參與全球半導(dǎo)體設(shè)備及材料標準制定的領(lǐng)導(dǎo)廠商,不僅率先投入18寸晶圓載具、極紫外光光罩盒(EUVPod)等市場,也獲英特爾、應(yīng)用材料、ASML等國際大廠包下全年產(chǎn)能。家登指出,因應(yīng)半導(dǎo)體業(yè)朝向18寸晶圓發(fā)展,該公司積極復(fù)制先前旗下光罩傳載產(chǎn)品市占第1的成功模式至晶圓傳載市場。
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VI
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