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[導(dǎo)讀]極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項,簡稱IC裝備專項,屬于電子信息板塊。該專項的主要任務(wù)是實現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破,支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。IC裝備專項由北京市、上海市牽頭組織實施,是唯一一個

極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項,簡稱IC裝備專項,屬于電子信息板塊。該專項的主要任務(wù)是實現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破,支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

IC裝備專項由北京市、上海市牽頭組織實施,是唯一一個由地方政府牽頭組織實施的重大專項,通過一系列創(chuàng)新管理制度的建立,充分發(fā)揮地方政府作用,引導(dǎo)資源聚集,改善產(chǎn)業(yè)環(huán)境。同時,注重創(chuàng)新投入機(jī)制,引導(dǎo)多元化投入。

在專項實施前,IC制造前工序和封測的生產(chǎn)線的所有裝備以及配套材料基本都依賴進(jìn)口,嚴(yán)重制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展。專項為此提出“掌握核心技術(shù)、開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的宗旨,注重整體設(shè)計、長遠(yuǎn)布局、重點突破、構(gòu)建體系,提出培育一批“世界級企業(yè)”、實現(xiàn)與世界同步發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)。

“十一五”期間,該專項重點針對65—45納米技術(shù)代進(jìn)行系統(tǒng)性布局,取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機(jī)”,和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機(jī)”,目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進(jìn)行考核,指標(biāo)達(dá)到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導(dǎo)體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機(jī)”向臺灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進(jìn)投影式光刻機(jī),已經(jīng)成功進(jìn)入江陰長電的先進(jìn)封裝生產(chǎn)線,實現(xiàn)了我國光刻機(jī)產(chǎn)品的重大突破。

IC裝備專項在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實現(xiàn)量產(chǎn),45nm工藝正在做量產(chǎn)準(zhǔn)備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項研制的部件和材料產(chǎn)品實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。

在組織實施過程中,專項進(jìn)行了機(jī)制創(chuàng)新的嘗試,提出了“市場考核產(chǎn)品、應(yīng)用考核技術(shù)、整機(jī)考核部件”的新考核方式。并在專項實施“舉國體制”方面取得經(jīng)驗:圍繞產(chǎn)業(yè)鏈組織多部門、多地區(qū)聯(lián)合攻關(guān)的“大兵團(tuán)”作戰(zhàn),系統(tǒng)性組織項目實施。其中“封測關(guān)鍵設(shè)備、材料應(yīng)用工程”項目依托龍頭封裝廠,聯(lián)合國內(nèi)數(shù)十家封測裝備、材料廠商,通過兩年時間成功研制出裝片機(jī)、鍵合機(jī)等23種關(guān)鍵封測設(shè)備、5種封測材料,進(jìn)行嚴(yán)格的大生產(chǎn)考核,經(jīng)多輪改進(jìn),真正滿足大生產(chǎn)線的技術(shù)要求,實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。

目前,共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項,其中中高級研發(fā)人員占52%。專項還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗和國際化市場運作能力的海外留學(xué)歸國人員和團(tuán)隊參與。其中,通過“千人計劃”引進(jìn)22位海外高層次人才,極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。

此外,在“十一五”啟動的58個項目中,企業(yè)牽頭項目40個,占到總數(shù)的69%,體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計申請專利4248項,其中發(fā)明專利3667項,已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項。

IC裝備專項還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動作用。由于基本工藝原理相似,IC制造技術(shù)還輻射帶動了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對于我國推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整,具有重要的促進(jìn)作用。

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