集成電路:集團(tuán)軍作戰(zhàn)搶占國際前沿
時間：2010-12-17 13:29:40
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集成電路
集成電路產(chǎn)業(yè)
半導(dǎo)體設(shè)備
集成電路制造
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[導(dǎo)讀]經(jīng)過兩個五年計劃，在重大科技專項的帶動下，我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展突飛猛進(jìn)，特別是在65納米技術(shù)代已構(gòu)建起配套的集成電路裝備、工藝和材料技術(shù)創(chuàng)新體系，突破了核心技術(shù)，部分產(chǎn)品已進(jìn)入國際市場銷售。10年前，清華
經(jīng)過兩個五年計劃，在重大科技專項的帶動下，我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展突飛猛進(jìn)，特別是在65納米技術(shù)代已構(gòu)建起配套的集成電路裝備、工藝和材料技術(shù)創(chuàng)新體系，突破了核心技術(shù)，部分產(chǎn)品已進(jìn)入國際市場銷售。
10年前，清華大學(xué)微電子學(xué)研究所教授、中國工程院院士李志堅在接受科技日報記者采訪時認(rèn)為，發(fā)展整個集成電路沒有上升為國家行為；同時，在發(fā)展集成電路方面缺少長期規(guī)劃，從而制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
近日，記者就這一問題采訪中國科學(xué)院微電子所所長葉甜春，他表示，過去發(fā)展整個集成電路沒有上升為國家行為的局面如今得到根本性改變，研究經(jīng)費(fèi)與十年前相比，有了幾十倍的增長?！艾F(xiàn)在，國家有兩個重大專項用于支持集成電路的發(fā)展，另外在通信專項中也有部分用于研發(fā)集成電路。這樣算起來，有兩個半的重大專項了?！?BR>
為打造集成電路產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新集群和產(chǎn)業(yè)集群，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大科技專項將重點放在產(chǎn)業(yè)鏈的構(gòu)建上。專項在實施中尤其注重頂層設(shè)計，進(jìn)行整體布局、組織與整合。2009年12月，專項成立首個聯(lián)盟——集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟。據(jù)悉，今后還將陸續(xù)成立光刻機(jī)、65—22納米工藝研發(fā)和硅材料等聯(lián)盟，充分發(fā)揮“大軍團(tuán)作戰(zhàn)”的協(xié)同能力，推進(jìn)我國集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈的形成和產(chǎn)業(yè)整體核心競爭力的提升。
由于研發(fā)能力的薄弱，通過拍攝和放大已有芯片照片得到版圖幾何圖形的“反向設(shè)計”一度在我國集成電路產(chǎn)業(yè)中十分流行，由此造成我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力停步不前。對此，葉甜春表示，我國微電子產(chǎn)業(yè)十年前流行的反向設(shè)計方式如今已基本擯棄?！皣鴥?nèi)目前的專業(yè)人才培養(yǎng)也是正向設(shè)計方式，現(xiàn)在已看不到什么反向設(shè)計的產(chǎn)品，我們比過去更關(guān)注知識產(chǎn)權(quán)。”
自主研發(fā)為國人帶來了可喜的實惠。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制開發(fā)出具有獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的65—45納米介質(zhì)刻蝕機(jī)，并完成了65納米工藝各項優(yōu)化工作。與世界上最先進(jìn)設(shè)備的芯片加工結(jié)果相比，該機(jī)單位投資的產(chǎn)出量高35%到50%，芯片加工成本低30%到35%，芯片生產(chǎn)線廠房面積節(jié)省35%到50%，而且改進(jìn)后可以有更先進(jìn)工藝芯片的加工能力。
目前，該機(jī)已成功打入國際市場，在5家亞洲客戶芯片生產(chǎn)線投入使用，成功改變了過去幾十年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備長期被西方發(fā)達(dá)國家壟斷的局面，打破了發(fā)達(dá)國家在核心半導(dǎo)體制造設(shè)備方面對我國的壟斷和技術(shù)封鎖，改變了國際上刻蝕設(shè)備市場的競爭格局。
實際上，我國已經(jīng)有一批集成電路企業(yè)走在國際前沿，在研發(fā)、設(shè)備和產(chǎn)品等各個環(huán)節(jié)正在闊步前進(jìn)，部分已進(jìn)入國際市場打拼。中芯國際“65納米低漏電產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)基本完成，并實現(xiàn)小批量量產(chǎn)；北京七星華創(chuàng)的氣體質(zhì)量流量計已向國外燃料電池行業(yè)批量供貨。由江蘇長電和南通富士通牽頭承擔(dān)的集成電路制造關(guān)鍵封測設(shè)備、材料應(yīng)用工程，攻克了10多項重大關(guān)鍵技術(shù)，已有20種設(shè)備和7種材料產(chǎn)品進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗證，企業(yè)成功獲得了國際國內(nèi)高端客戶連續(xù)增長的訂單。
“在微電子領(lǐng)域，我國進(jìn)步最快的是制造業(yè)，與世界先進(jìn)水平相比，差距正大幅度縮小，雖然總體技術(shù)水平還差1—2代，但我們在嵌入式存儲器領(lǐng)域、先進(jìn)封裝技術(shù)等領(lǐng)域有不小突破?！比~甜春說。
從長遠(yuǎn)來看，國家在集成電路領(lǐng)域也有著更多考慮?！皣@著國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和改善民生的重大任務(wù)，每一個專項都有明確的目標(biāo)、任務(wù)和時間表，每一個專項的具體目標(biāo)和任務(wù)都經(jīng)過專家們的反復(fù)論證?！笨萍疾恐卮髮ｍ椶k公室許倞表示。
10年前，清華大學(xué)微電子學(xué)研究所教授、中國工程院院士李志堅在接受科技日報記者采訪時認(rèn)為，發(fā)展整個集成電路沒有上升為國家行為；同時，在發(fā)展集成電路方面缺少長期規(guī)劃，從而制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
近日，記者就這一問題采訪中國科學(xué)院微電子所所長葉甜春，他表示，過去發(fā)展整個集成電路沒有上升為國家行為的局面如今得到根本性改變，研究經(jīng)費(fèi)與十年前相比，有了幾十倍的增長?！艾F(xiàn)在，國家有兩個重大專項用于支持集成電路的發(fā)展，另外在通信專項中也有部分用于研發(fā)集成電路。這樣算起來，有兩個半的重大專項了?！?BR>
為打造集成電路產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新集群和產(chǎn)業(yè)集群，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大科技專項將重點放在產(chǎn)業(yè)鏈的構(gòu)建上。專項在實施中尤其注重頂層設(shè)計，進(jìn)行整體布局、組織與整合。2009年12月，專項成立首個聯(lián)盟——集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟。據(jù)悉，今后還將陸續(xù)成立光刻機(jī)、65—22納米工藝研發(fā)和硅材料等聯(lián)盟，充分發(fā)揮“大軍團(tuán)作戰(zhàn)”的協(xié)同能力，推進(jìn)我國集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈的形成和產(chǎn)業(yè)整體核心競爭力的提升。
由于研發(fā)能力的薄弱，通過拍攝和放大已有芯片照片得到版圖幾何圖形的“反向設(shè)計”一度在我國集成電路產(chǎn)業(yè)中十分流行，由此造成我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力停步不前。對此，葉甜春表示，我國微電子產(chǎn)業(yè)十年前流行的反向設(shè)計方式如今已基本擯棄?！皣鴥?nèi)目前的專業(yè)人才培養(yǎng)也是正向設(shè)計方式，現(xiàn)在已看不到什么反向設(shè)計的產(chǎn)品，我們比過去更關(guān)注知識產(chǎn)權(quán)。”
自主研發(fā)為國人帶來了可喜的實惠。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制開發(fā)出具有獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的65—45納米介質(zhì)刻蝕機(jī)，并完成了65納米工藝各項優(yōu)化工作。與世界上最先進(jìn)設(shè)備的芯片加工結(jié)果相比，該機(jī)單位投資的產(chǎn)出量高35%到50%，芯片加工成本低30%到35%，芯片生產(chǎn)線廠房面積節(jié)省35%到50%，而且改進(jìn)后可以有更先進(jìn)工藝芯片的加工能力。
目前，該機(jī)已成功打入國際市場，在5家亞洲客戶芯片生產(chǎn)線投入使用，成功改變了過去幾十年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備長期被西方發(fā)達(dá)國家壟斷的局面，打破了發(fā)達(dá)國家在核心半導(dǎo)體制造設(shè)備方面對我國的壟斷和技術(shù)封鎖，改變了國際上刻蝕設(shè)備市場的競爭格局。
實際上，我國已經(jīng)有一批集成電路企業(yè)走在國際前沿，在研發(fā)、設(shè)備和產(chǎn)品等各個環(huán)節(jié)正在闊步前進(jìn)，部分已進(jìn)入國際市場打拼。中芯國際“65納米低漏電產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)基本完成，并實現(xiàn)小批量量產(chǎn)；北京七星華創(chuàng)的氣體質(zhì)量流量計已向國外燃料電池行業(yè)批量供貨。由江蘇長電和南通富士通牽頭承擔(dān)的集成電路制造關(guān)鍵封測設(shè)備、材料應(yīng)用工程，攻克了10多項重大關(guān)鍵技術(shù)，已有20種設(shè)備和7種材料產(chǎn)品進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗證，企業(yè)成功獲得了國際國內(nèi)高端客戶連續(xù)增長的訂單。
“在微電子領(lǐng)域，我國進(jìn)步最快的是制造業(yè)，與世界先進(jìn)水平相比，差距正大幅度縮小，雖然總體技術(shù)水平還差1—2代，但我們在嵌入式存儲器領(lǐng)域、先進(jìn)封裝技術(shù)等領(lǐng)域有不小突破?！比~甜春說。
從長遠(yuǎn)來看，國家在集成電路領(lǐng)域也有著更多考慮?！皣@著國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和改善民生的重大任務(wù)，每一個專項都有明確的目標(biāo)、任務(wù)和時間表，每一個專項的具體目標(biāo)和任務(wù)都經(jīng)過專家們的反復(fù)論證?！笨萍疾恐卮髮ｍ椶k公室許倞表示。
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