液體粘度傳感器小型化，日本產(chǎn)綜研利用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)

日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所開發(fā)出了基于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）技術(shù)的粘度傳感器，并在“日本Nano Micro Business展”（東京有明國(guó)際會(huì)展中心，7月5日閉幕）上進(jìn)行了展示。

        
從玻璃容器中取出的粘度傳感器（點(diǎn)擊放大）      

  表示傳感器構(gòu)造的模型（點(diǎn)擊放大）
       該傳感器的尺寸小于機(jī)械式粘度傳感器，設(shè)想的用途為安裝在設(shè)備的管道內(nèi)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。

       傳感器部分采用雙螺旋形狀，浸入液體中使用。一層螺旋在外部磁鐵的作用下振動(dòng)，另一層螺旋則在液體的粘性作用下運(yùn)動(dòng)，根據(jù)運(yùn)動(dòng)的程度測(cè)量液體粘度。該傳感器收納在USB存儲(chǔ)器大小的不銹鋼外殼中。（記者：三宅 常之，Tech-On！）