歐姆龍7月推出采用MEMS技術(shù)實(shí)施真空封裝的氣壓傳感器

歐姆龍2013年7月29日開(kāi)始銷(xiāo)售新款“絕對(duì)壓力傳感器”，絕對(duì)壓力傳感器檢測(cè)的是以理論真空為基準(zhǔn)的壓力值。新產(chǎn)品利用MEMS技術(shù)對(duì)傳感器芯片內(nèi)部實(shí)施真空封裝處理，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)絕對(duì)壓力的測(cè)量。

       歐姆龍?jiān)缭?012年夏季就完成了產(chǎn)品開(kāi)，之后一直在野洲事務(wù)所（位于日本滋賀縣野洲市）推進(jìn)量產(chǎn)準(zhǔn)備工作。新產(chǎn)品的價(jià)格為開(kāi)放式，目標(biāo)是2015年實(shí)現(xiàn)6億日元的銷(xiāo)售額。設(shè)想的應(yīng)用領(lǐng)域是要求獲取高質(zhì)量運(yùn)動(dòng)信息和生活信息的可穿戴式設(shè)備以及保健裝置。

       新產(chǎn)品的分辨率為0.06Pa（相當(dāng)于5mm），誤差為±6Pa；可準(zhǔn)確捕捉50cm高低差的氣壓變化；檢測(cè)范圍為300～1100hPa；封裝尺寸為3.8mm×3.8mm×0.92mm；芯片是尺寸為1.9mm×1.9mm×0.5mm的CMOS電路、MEMS傳感器一體型。新產(chǎn)品的性能參數(shù)與開(kāi)發(fā)工作剛完成時(shí)相同，但消耗電流由當(dāng)初的0.5μ～9.5μA降到了0.3μ～9.0μA。

       另外，歐姆龍預(yù)定在2013年7月3～5日于東京有明國(guó)際會(huì)展中心舉行的“Nano Micro Biz展”上展出新產(chǎn)品。（記者：赤坂 麻實(shí)，Tech-On?。?

將在7月上市的絕對(duì)壓力傳感器（攝影：歐姆龍）（點(diǎn)擊放大）