催生18吋晶圓技術(shù)ASML啟動(dòng)客戶共同投資計(jì)畫
[導(dǎo)讀]半導(dǎo)體制程技術(shù)可望于2015年邁入14奈米(nm)制程及18吋晶圓的時(shí)代。艾司摩爾(ASML)發(fā)動(dòng)客戶共同集資計(jì)畫(Co-Investment Program)，邀請(qǐng)客戶參與其先進(jìn)微影(Lithography)設(shè)備研發(fā)投資，其中英特爾(Intel)已率先加入，透
半導(dǎo)體制程技術(shù)可望于2015年邁入14奈米(nm)制程及18吋晶圓的時(shí)代。艾司摩爾(ASML)發(fā)動(dòng)客戶共同集資計(jì)畫(Co-Investment Program)，邀請(qǐng)客戶參與其先進(jìn)微影(Lithography)設(shè)備研發(fā)投資，其中英特爾(Intel)已率先加入，透過該計(jì)畫可望為14奈米制程及18吋晶圓的發(fā)展時(shí)程縮短2年。
艾司摩爾執(zhí)行長Eric Meurice表示，在追趕摩爾定律(Moore's Law)的壓力下，半導(dǎo)體設(shè)備商須有更充沛的資金來源，才能突破更小的奈米制程和更大尺寸晶圓的技術(shù)挑戰(zhàn)，因此，艾司摩爾特別發(fā)起客戶共同投資計(jì)畫，并且成功邀請(qǐng)英特爾成為第一間投資公司。
據(jù)了解，英特爾已在第一階段投注10億美元的投資金額于艾司摩爾18吋晶圓技術(shù)及極紫外線(EUV)的技術(shù)研發(fā)，并以約21億美元認(rèn)股9.99%；預(yù)計(jì)于今年9月經(jīng)過艾司摩爾的股東同意??后，英特爾再進(jìn)行第二階段的增資，以10億美元獲取5%艾司摩爾的股份，投資金額共41億美元。
英特爾資深副總裁暨營運(yùn)長Brian Krzanich指出，英特爾的這項(xiàng)投資，可望增進(jìn)EUV微影技術(shù)的發(fā)展，并讓18吋晶圓堆疊系統(tǒng)提早于2015年推出，將有助于晶圓制造廠縮減成本開支且晶圓產(chǎn)能增加一倍。
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