投資ASML？ 臺積擬3套劇本

臺積電昨（10）日證實，已收到ASML投資邀請，正審慎評估參股可能性。設(shè)備商指出，臺積電因應(yīng)英特爾入股ASML，已備好3套劇本，包括也加入?yún)⒐葾SML、自行研發(fā)投入更先進技術(shù)、投資其它先進技術(shù)設(shè)備廠。
業(yè)界研判，臺積電若依英特爾模式參股ASML，應(yīng)是擔心28納米產(chǎn)能供不應(yīng)求戲碼重演，若能透過參股ASML提升與關(guān)鍵設(shè)備廠合作關(guān)系，未來就不怕?lián)尣坏皆O(shè)備，在最短的時間擴充產(chǎn)能滿足客戶需求。

隨著半導體制程進入20納米以下技術(shù)開發(fā)，掌握ASML微影技術(shù)的主控權(quán)，等于卡位先進制程的領(lǐng)導地位，臺積電近幾年提高研發(fā)支出，有一大半比重放在微影技術(shù)開發(fā)。



圖／經(jīng)濟日報提供業(yè)界認為，ASML是全球最大微影設(shè)備供應(yīng)商，在稍早的65、40納米技術(shù)時代，晶圓代工廠便礙于ASML產(chǎn)量有限，曝光機臺交期長，即使「有錢也難買設(shè)備」，臺積電若參股ASML，將可在關(guān)鍵機臺取得優(yōu)先采購權(quán)。
若不參股ASML，臺積電也可能自行研發(fā)新微影技術(shù)。臺積電過去曾由微制像技術(shù)發(fā)展處資深處長林本堅領(lǐng)軍，透過以水當介質(zhì)，讓浸潤式顯影技術(shù)在90納米使用的波長193納米微影設(shè)備基礎(chǔ)，繼續(xù)往下延伸至65納米技術(shù)使用。

臺積電2004年1月啟用全世界第1臺193納米「浸潤式微影技術(shù)」 （Immersion Lithography）機臺，就是以既有的ASML設(shè)備機臺，輔以臺積電自行研發(fā)的先進微影技術(shù)，帶領(lǐng)臺積電一下子跳躍3個世代，跨入65納米生產(chǎn)，奠定先進制程地位。第3種可能則是臺積電轉(zhuǎn)而投資其它的技術(shù)先進公司，轉(zhuǎn)找其它合作伙伴，例如臺積電2007年投資荷蘭新創(chuàng)公司Mapper，跨入無光罩微影技術(shù)，Mapper甚至派駐相關(guān)人員在臺積電進行原型機臺研發(fā)，仍然讓臺積電在28納米制程上掌握優(yōu)勢，因此臺積電也可能采取這類方式。

帆宣 家登 大贏家

英特爾大手筆入股ASML，強攻18寸晶圓，帶動相關(guān)設(shè)備商機大開，ASML在臺合作伙伴帆宣，以及已獲英特爾資本 （Intel Capital）投資的18寸晶圓材料商家登，將為成最大贏家。

帆宣、家登近期營運走高，帆宣昨（10）日公布6月營收8.83億元，月增48.9%，攀上10個月來高峰。家登6月營收7,722萬元，月增7.57%；第2季營收2.09億元，創(chuàng)單季新高。ASML加快18寸晶圓布局，帆宣、家登營運后市看俏，激勵兩家公司昨天股價同步逆勢上漲逾2%。

帆宣近年積極布局半導體高階設(shè)備，已獲日立國際電氣半導體熱制程技術(shù)移轉(zhuǎn)，投入12寸熱制程機臺設(shè)備制造，去年下半年開始出貨臺積電，并與ASML有合作關(guān)系，在設(shè)備制造代工與代理皆有穩(wěn)定發(fā)展。

18寸晶圓使用的曝光機臺開發(fā)昂貴，市場預(yù)期，ASML獲得英特爾入股之后，開發(fā)18寸晶圓用曝光機臺等周邊設(shè)備將如虎添翼，也將釋出部分代工訂單給臺廠，帆宣與ASML合作良好，可望新增不少單價高、利潤好的業(yè)務(wù)，直接受惠。

家登獲英特爾資本投資后，成為臺灣首家參與全球半導體設(shè)備及材料標準制定的領(lǐng)導廠商，不僅率先投入18寸晶圓載具、極紫外光光罩盒（EUV Pod）等市場，也獲英特爾、應(yīng)用材料、ASML等國際大廠包下全年產(chǎn)能。家登指出，因應(yīng)半導體業(yè)朝向18寸晶圓發(fā)展，該公司積極復(fù)制先前旗下光罩傳載產(chǎn)品市占第1的成功模式至晶圓傳載市場。