新竹強(qiáng)震 晶圓破片

新竹縣尖石鄉(xiāng)昨（13）日二度發(fā)生里氏規(guī)模逾4級(jí)地震，一度驚傳晶圓雙雄臺(tái)積電、聯(lián)電位于竹科園區(qū)內(nèi)產(chǎn)線(xiàn)發(fā)生破片狀況，據(jù)了解，影響程度尚在調(diào)查中，并未波及廠商的正常營(yíng)運(yùn)。

昨下午4時(shí)22分新竹發(fā)生里氏規(guī)模4.9級(jí)地震、晚間10點(diǎn)41分發(fā)生里氏4.4級(jí)地震，竹科廠區(qū)內(nèi)也有2~4級(jí)不等震度，臺(tái)積電、聯(lián)電官方發(fā)言管道回應(yīng)指出，并無(wú)發(fā)生破片狀況，晶圓生產(chǎn)線(xiàn)尚未造成影響。

不過(guò)，晶圓廠高層指出，震度3以上的地震即可造成破片影響，其中最高機(jī)率發(fā)生在運(yùn)送過(guò)程中，而設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中則依固定方式不同，12寸廠晶圓的固定方式，較8寸晶圓來(lái)得穩(wěn)定。上一回蘇澳地震時(shí)，晶圓有破片情形，這一次也不例外，有的爐管也出現(xiàn)裂痕。

竹科管理局副局長(zhǎng)杜啟祥表示，有911大地震慘痛經(jīng)驗(yàn)，竹科廠商、尤其是半導(dǎo)體廠，在震度達(dá)到5級(jí)的時(shí)候，生產(chǎn)線(xiàn)機(jī)臺(tái)就會(huì)自動(dòng)關(guān)機(jī)，而這次的地震雖然震央在新竹縣尖石鄉(xiāng)，但新竹市和竹科僅3級(jí)左右，對(duì)于特別加強(qiáng)防震設(shè)施的竹科廠商并未造成太大影響。

杜啟祥指出，地震發(fā)生后，竹科園區(qū)內(nèi)供水、供電都正常，科管局方面也未接獲廠商任何因地震造成的損害通報(bào)。

911大地震時(shí)，竹科受創(chuàng)最重就是半導(dǎo)體廠，不僅造成多家半導(dǎo)體制造廠生產(chǎn)線(xiàn)爐管破裂，高價(jià)機(jī)臺(tái)更得花費(fèi)高達(dá)數(shù)億元進(jìn)行校正。更嚴(yán)重的是，臺(tái)灣不僅是全球晶圓代工重心，當(dāng)時(shí)的DRAM市占率也有一定地位，因?yàn)?11大地震造成半導(dǎo)體廠停工，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈也嚴(yán)重失衡。

有了911大地震的慘痛教訓(xùn)，竹科廠商在蓋廠時(shí)都會(huì)加強(qiáng)建筑物的防震能力，尤其以晶圓廠及面板廠更為謹(jǐn)慎，防震度至少都做到6、7級(jí)的水平。近幾年臺(tái)灣偶有地震發(fā)生，一方面新竹地區(qū)的震度不高，同時(shí)也因廠商的防震措施做得好，竹科自911大地震以來(lái)，尚未因地震造成損失。